Газовая продукция для микроэлектроники и лазеров
Тел/факс

+7(495)316-94-81

316-94-88

Дзержинское ОП

дзержинское оп хорст

 

Дзержинское обособленное подразделение ООО «Фирма «ХОРСТ» основано в 1997 году в г. Дзержинске Нижегородской области.

 

В состав подразделения входят производственные участки получения высокочистых силанов, аммиака, закиси азота, моногермана, участок подготовки тары, лаборатория анализа газов и аналитический отдел.

 

Если назначение производственных участков следует из их наименования, то функции лаборатории анализа газов и аналитического отдела, гораздо более широки, чем можно подумать.

 

В Дзержинском подразделении получают, разделяют и производят глубокую очистку материалов электронной техники.

 

Разработка технологии и оборудования для такого производства требует привлечения специализированных кадров, выполнения анализа научных данных, проведения исследовательской и экспериментальной работы.

 

Как раз эти функции и возложены на аналитический отдел, основной целью которого является развитие производства: создание новых технологий и совершенствование существующих.

 

В этой работе лаборатория анализа газов является основным инструментом экспериментального исследования.

 

Кроме выполнения текущей рутинной работы, она принимает непосредственное участие в экспериментальной работе аналитического отдела.

 

Кадровый состав аналитического отдела сформирован из специалистов производственных участков и лаборатории анализа газов: доктора и кандидаты химических и технических наук, аспиранты и магистранты НГТУ им. Р. Е. Алексеева и НГУ им. Н. И. Лобачевского.

 

Основным источником кадров являются НГТУ им. Р. Е. Алексеева и НГУ им. Н. И. Лобачевского.

 

Совмещение работы на производственном участке и в аналитическом отделе позволяет специалистам глубоко понимать сущность используемых процессов и практические проблемы реализации внедряемых технологий.

 

Главное направление деятельности коллектива аналитического отдела – разработка методов синтеза и глубокой очистки летучих веществ для микроэлектроники: получение и анализа летучих неорганических гидридов кремния, германия, фосфора, мышьяка и азота; летучих неорганических хлоридов кремния - тетрахлорида кремния, дихлорсилана, трихлорсилана; летучих неорганических фторидов - трифторида азота, гексафторида вольфрама, фторидов ванадия и углерода, гексафторида серы и других летучих веществ для микроэлектроники.

 

Подразделение сотрудничает с кафедрой физики и технологии материалов и компонентов электронной техники НГТУ.

 

Постоянно около 10 аспирантов и магистрантов НГТУ участвуют в научной и производственной работе Подразделения.

 

Ежегодно выполняются бакалаврские и магистерские работы студентов кафедры.

 

Основные научные и производственные достижения ООО «Фирма «ХОРСТ» связаны с созданием в Дзержинском ОП первого в России производства высокочистых силанов (моносилана, дихлорсилана, тетрахлорида кремния) на базе собственных запатентованных научных разработок.

 

В настоящее время осуществляется поставка этих высокочистых летучих веществ на предприятия микроэлектроники России и Беларуси, а также на экспорт.

 

В ООО «Фирма «ХОРСТ» впервые в России разработано, запатентовано и введено в эксплуатацию производство высокочистого аммиака для получения высокоэффективных светоизлучающих диодов нового поколения.

 

В настоящее время высокочистый аммиак поставляется на ряд предприятий РФ, где организовано производство этих изделий.

 

Разработано, запатентовано и введено в эксплуатацию производство высокочистого моногермана для производства приборов на основе Si-Ge структур.

 

В Дзержинском ОП изготавливают большое количество газовых смесей на основе получаемых веществ. В 2012 году кроме этого начали производить газовые смеси для эксимерных лазеров и поверочные смеси.

 

Наиболее востребованные смеси в настоящее время: моносилан с аргоном/водородом, моногерман с водородом, диборан с водородом, триметилбор (ТМБ) с водородом, фосфин и арсин с водородом, фторсодержащие эксимерные смеси с аргоном, криптоном, ксеноном.

 

В Дзержинском ОП создана группа для анализа высокочистых веществ, которой разработаны методики анализа моносилана и других высокочистых летучих веществ методами газовой хроматографии и лазерной ультрамикроскопии.

 

Разработаны и поставлены на промышленные предприятия аналитические комплексы для анализа высокочистого трихлорсилана, хлористого водорода и триметилбора.

 

Сложное и высокотехнологическое оборудование, используемое в Дзержинском ОП, сертифицировано в Сертификационном центре Госстандарта.

 

Производственная деятельность ООО “Фирма «ХОРСТ» лицензирована Ростехнадзором России на право осуществления деятельности по эксплуатации химических и взрывопожароопасных производственных объектов.

 

Сотрудники Дзержинского ОП постоянно участвуют в крупнейших международных конференциях: “Евромембраны”, “ICIM”, “Кинетика и механизм кристаллизации”, "Конференция по химии высокочистых веществ" и других.

 

Основные работы центра опубликованы в ведущих российских и зарубежных журналах: Журнал физической химии, Журнал аналитической химии, Успехи химии, Журнал прикладной химии, Теоретические основы химической технологии, Separation and Purification Technology, Desalination и других.

 

Перечень работ, которые были выполнены и внедрены сотрудниками ООО "Фирма "ХОРСТ":

1. технология и установка синтеза и глубокой очистки моносилана

 

2. технология и установка глубокой очистки дихлорсилана

 

3. технология и установка глубокой очистки тетрахлорида кремния

 

4. технология и установка глубокой очистки аммиака

 

5. технология и установка глубокой очистки закиси азота

 

6. технология и установка электрохимического синтеза моногермана

 

7. технология и установка глубокой очистки моногермана

 

8. методики и установки приготовления смесей моногермана, моносилана, диборана, триметилбора (ТМБ), фосфина, арсина, инертных газов, а также эксимерных и поверочных смесей

 

9. методика и установка для подготовки баллонов под высокочистые газы

 

В созданной в Дзержинском ОП аналитической лаборатории анализа газов разработаны и поставлены методики для анализа высокочистых газов:

 

1. моносилана

 

2. дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния

 

3. моногермана

 

4. аммиака

 

5. закиси азота

 

6. триметилбора (ТМБ)

 

7. хлористого водорода

 

8. смесей указанных выше веществ с другими газами

 

9. фторсодержащих смесей для эксимерных лазеров