Газовая продукция для микроэлектроники и лазеров
Тел/факс

+7(495)316-94-81

316-94-88

Лаборатория анализа газов

Лаборатория анализа газов ООО "Фирма "ХОРСТ" занимается анализом, разработкой и постановкой методик анализа высокочистых веществ.

 

Наряду с контролем качества используемого сырья и выпускаемой продукции, лаборатория самостоятельно разрабатывает и внедряет методики анализа, к настоящему моменту лабораторией разработаны и внедрены методики анализа аммиака, моносилана и его смесей, моногермана и его смесей, хлоридов кремния, закиси азота, эксимерных смесей, хлористого водорода, триметилбора и др.

 

лаборатория анализов horst

 

Еще одно направление деятельности лаборатории - это разработка и постановка методик анализа для сторонних организаций.

 

Большой опыт работы лаборатории позволяет разрабатывать методики анализа для токсичных и агрессивных газов.

 

Лаборатория проводит разработку и изготовление систем напуска для аналитических приборов, а также лабораторных систем утилизации анализируемых газов.

 

Тесное сотрудничество лаборатории с производителями аналитического (хроматографического) оборудования, дает возможность модифицировать приборы под конкретные методики анализа.

 

При разработке методики анализов, сотрудники лаборатории проводят обучение стороннего персонала работе на аналитических приборах.

 

Так, сотрудниками лаборатории анализа газов были разработаны и поставлены методики выполнения измерений примесного состава трихлорсилана и хлористого водорода для Группы НИТОЛ.

 

Группе НИТОЛ поставлено два хроматографических комплекса для анализа трихлорсилана и хлороводорода, созданных в сотрудничестве с ОАО "Цвет", обладающим колоссальным опытом в создании качественного хроматографического оборудования.

 

Для Пермской химической компании в тесном сотрудничестве с успешно развивающимся производителем хроматографов "Хромос" разработан хроматографический комплекс для определения примесей азота, кислорода, окиси углерода, метана в триметилборе (ТМБ) на уровне 0,1 ppm.

 

Прибор оборудован гелиевым разрядным детектором производства Valco и уникальной системой напуска газов, позволяющей работать с токсичными и воспламеняющимися высокочистыми веществами.

 

Выполнена работа по разработке методики определения содержания примесей диоксида углерода и углеводородов в триметилборе и разработке нового прибора.

 

Дзержинским ОП также выполнены совместные с Linde и Spectra Gases работы по разработке методики анализа высокочистого моногермана.

 

Методика проверена межлабораторным экспериментом с лабораториями Linde и Spectra Gases.

 

лаборатория horst

 

Аналитические лаборатории ООО «Фирма «ХОРСТ» оснащены газовыми хроматографами отечественного и импортного производства, позволяющими производить определение широкого круга летучих и газообразных примесей в высокочистых веществах для опто- и микроэлектроники на уровне десятых долей ppm.

 

Хроматографы оборудованы детекторами по теплопроводности, по ионизации в пламени, гелиевыми разрядными, пироэлектрическими, электронзахватными и т.д.

 

Кроме того, имеющаяся в распоряжении лазерная ультрамикроскопическая установка позволяет определять содержание взвешенных частиц размером до 0,1 мкм в газах и жидкостях.

 

Пределы обнаружения примесей в некоторых анализируемых веществах

№ п/п

Компонент

Предел обнаружения,ppm

Детектор

Анализируемые вещества

1

Хлорсиланы

5

ДТП

Дихлорсилан

Тетрахлорид кремния

Трихлорсилан

Моносилан

2

Хлорорганика

0,1

ДИП

Дихлорсилан

Тетрахлорид кремния

Трихлорсилан

Моносилан

3

Углеводороды

0,01

ДИП

Дихлорсилан

Тетрахлорид кремния

Трихлорсилан

Моносилан

Моногерман

Постоянные газы

Аммиак

Триметилбор

4

Постоянные газы

(Ne, H2, О2,Ar, N2)

0,2

ГРД

Моносилан

Моногерман

Аммиак

Закись азота

Триметилбор

5

Оксиды углерода

(CO, CO2)

0,2

ГРД, ДИП (метанатор)

Моносилан

Моногерман

Аммиак

Закись азота

Триметилбор

6

Вода

0,1

ДИП с химическим преобразованием, ИВГ

Моносилан

Моногерман

Аммиак

Закись азота