Газовая продукция для микроэлектроники и лазеров
Тел/факс

+7(495)316-94-81

316-94-88

Двухступенчатый регулятор давления (редуктор) с блоком продувки FMD 522/562-26/27

Тип газа

инертный
горючий
реактивный
окисляющий
кроме кислорода

Чистота газа

6.0

Давление на входе, бар

до 230

Диапазон давлений на выходе, бар

0,2 - 2 абс. (FMD 522)
0,2 - 3 абс. (FMD 522)
0,2 - 1 (FMD 562)
0,2 - 2 (FMD 562)

Особенности

Продувка инертным газом

Оптимальные условия продувки благодаря блоку продувочных вентилей

Регулировка давления ниже атмосферного (FMD 522)

Давление на выходе практически не зависит от давления на входе благодаря двухступенчатой конструкции

Мембранный запорный вентиль

Мембранный регулятор

Ручка регулировки согласно требованиям ATEX

Описание

Эти регуляторы давления состоят из соединения для подключения баллона, блока продувочных вентилей с обратным клапаном, продувочных вентилей на входе и выходе, собственно регулятора давления, манометров на входе и выходе, мембранного запорного вентиля MVA 500 (только тип-27), предохранительного клапана и выходных трубных фитингов. Использование контактного манометра (аксессуары) в сочетании с сигнализатором (аксессуары) упрощает контроль запасов газа.

Применение

Блок продувочных вентилей на входе позволяет выполнить продувку внешним инертным газом. Объем продувки поддерживается на минимальном уровне (только соединения с баллоном), и продувочные газы могут подаваться отдельно. Поэтому этот регулятор особенно подходит для реактивных, горючих, окисляющих и коррозионных газов. Он обеспечивает оптимальные условия продувки, а также максимальную безопасность как для оборудования, так и для оператора при работе с токсичными газами. Двухступенчатая конструкция обеспечивает равномерное давление на выходе независимо от уровня давления в баллоне.

Технические параметры

Корпус  нержавеющая сталь 316L (1.4404) спец. очищ. и электрополированная
Уплотнения седла, 1-я ступень  ПТФХЭ
Уплотнения седла, 2-я ступень  Перфторированный каучук, (СКЭПТ)*
Уплотнения корпуса  ПТФХЭ
Уплотнения седла разгр. клапана  СКФ, (СКЭПТ, Перфторированный каучук)*
Осн. особен. конструкции  конструкция редуктора
Диапазон манометра  -1 – 1.5 бар (-15 – 40 фунтов/кв.дюйм)
  -1 – 5 бар (-15 – 75 фунтов/кв.дюйм)
  0 – 315 бар (0 – 4500 фунтов/кв.дюйм)
Опция  0 - 600 мбар (8,7 фунтов/кв. дюйм) с диаметром 63 мм
Вес  около 3,5 (тип -26) / 3,9 кг (тип -27)
Размеры (ШxВxГ)  около 310×180×230 мм
Продувочный вход  обратный клапан, трубный фитинг 6 мм
Продувочный выход  NPT 1/4"f , опциональное трубное соединение
Выход  NPT 1/4"f, опциональный трубный фитинг
Соединения баллона  в соответствии с типом газа, см. главу 5

Изображения

Двухступенчатый регулятор давления с блоком продувки FMD 522-26, FMD 562-26
Двухступенчатый регулятор давления с блоком продувки FMD 522-27, FMD 562-27

Технологическая схема

Технологическая схема регулятора давления FMD 522-26, FMD 562-26
Технологическая схема регулятора давления FMD 522-27, FMD 562-27

1 Соединение для баллона
2 Продувочный входной вентиль
3 Продувочный выходной вентиль
4 Запорный вентиль на входе
5 Регулятор давления
6 Манометр на входе
7 Манометр на выходе
8 Предохранительный клапан
10 Обратный клапан
11 Запорный вентиль на выходе (только тип -27)
BA Выход для технологического газа
SE Продувочный вход
SA Продувочный выход

Рабочие характеристики

Кривая расхода регулятора давления FMD 522-26/27, FMD 562-26/27