Газовая продукция для микроэлектроники и лазеров
Тел/факс

+7(495)316-94-81

316-94-88

Одноступенчатый регулятор абсолютного давления FMD 510/540-14/16/18

Тип газа

инертный
горючий
реактивный
окисляющий

Чистота газа

6.0

Давление на входе, бар

до 12

Диапазон давлений на выходе, бар

0,2 - 2 абс. (FMD 510)
0,2 - 3 абс. (FMD 510)
0,2 - 1 (FMD 540)
0,2 - 2 (FMD 540)

Особенности

Для получения низкого давления на выходе

Регулировка давления ниже атмосферного (FMD 510)

Мембранный вентиль с запорной функцией (поворот на 90°) (тип -16) или регулировочный вентиль (тип -18)

Мембранный регулятор

Ручка регулировки согласно требованиям ATEX

Описание

Эти регуляторы давления состоят из соединения для подключения баллона, собственно регулятора давления, манометров на входе и выходе, мембранного запорного вентиля MVA 500 (тип -16), регулировочного вентиля MVR 500 (тип -18), предохранительного клапана и выходных трубных фитингов. Использование контактного манометра (аксессуары) в сочетании с сигнализатором (аксессуары) упрощает контроль запасов газа.

Применение

Регулятор давления серии FMD 510/540 снижает низкое давление на входе до очень низкого давления на выходе: FMD 510 до 0,2 бар абс., подходит для регулировки давления ниже атмосферного, FMD 540 до 0,2 бар. FMD 510/540 выбирается для использования на выходе в соответствии с требованиями к перекрытию или регулировке потока газа и регулировке разрежения.

Технические параметры

Корпус  нерж. сталь 316L (1.4404) спец. очищ. и электрополиров или латунь 2.0401.26 спец. очищенная, никелированная и хромированная
Уплотнения седел  Нержавеющая сталь: Перфторированный каучук, (СКЭПТ)*. Латунь: СКЭПТ, (СКФ)*
Латунь  СКЭПТ, (СКФ)*
Материал уплотнений клапана  ПТФХЭ (нержавеющая сталь) , ПВДФ (латунь)
Уплотение седла разгрузочного клапана нержавеющая сталь: СКФ, (СКЭПТ, Перфторированный каучук)*. латунь: СКЭПТ, (СКФ)*
Осн. особен. конструкции  конструкция редуктора
Диапазон манометра  -1 – 1.5 бар (-15 – 40 фунтов/кв.дюйм)
  -1 – 5 бар (-15 – 75 фунтов/кв.дюйм)
  -1 – 18 бар (-15 – 260 фунтов/кв.дюйм)
Опция  0 - 600 мбар (0 - 8,5 фунтов/кв.дюйм) с диаметром 63 мм
Вес  около 1,5 кг (тип -14), 1,8 кг (тип -16/18)
Размеры (ШxВxГ)  около 139×126×175 (-14), 223 (-16 и -18) мм
Соединения баллона  в соответствии с типом газа, см. главу 5
Выход  NPT 1/4"f, опциональный трубный фитинг

Изображения

Одноступенчатый регулятор абсолютного давления FMD 510/540-14
Одноступенчатый регулятор абсолютного давления FMD 510/540-16
Одноступенчатый регулятор абсолютного давления FMD 510/540-18

Технологическая схема

Технологическая схема редуктора FMD 510/540-14
Технологическая схема редуктора FMD 510/540-16/18

1 Соединение для баллона
2 Регулятор давления
3 Манометр на входе
4 Манометр на выходе
5 Предохранительный клапан
6 Запорный вентиль на выходе (тип -16) / регулировочный вентиль (тип -18)
BA Выход для технологического газа

Рабочие характеристики

Кривая расхода регулятора давления FMD 510/540-14/16/18