Газовая продукция для микроэлектроники и лазеров
Тел/факс

+7(495)316-94-81

316-94-88

Галогеновый фильтр

Фильтр предназначен для поглощения фтора из отработанного газа эксимерного лазера. Действие фильтра основано на химическом преобразовании фтора в безвредные соединения.

Выпускается в двух вариантах, отличающихся размером фильтрующего элемента.