Газовая продукция для микроэлектроники и лазеров
Тел/факс

+7(495)316-94-81

316-94-88

Аргон

Синонимы: Argon

Применение

Аргон в основном используется для продувки, отжига, распыления и ионного травления, а также как инертный газ для вытяжки кристаллов кремния.

 

Спецификация

У нас можно купить аргон следующих марок

Марка

4.3

4.8

5.0

Содержание основного вещества, не менее

99,993 %

99,998 %

99,999%

Примеси:

Кислород, не более

7 ppm

2 ppm

2 ppm

Азот, не более

50 ppm

10 ppm

3 ppm

Водород, не более

не опред.

2 ppm

 2 ppm

Метан, не более

не опред.

1 ppm

0,5 ppm

Диоксид углерода, не более

5 ppm

0,2 ppm

0,2 ppm

Вода, не более

9 ppm

3 ppm

3 ppm

Стандарт / ТУ

ГОСТ 10157-79 с изм. 1, 2, 3

ТУ 6-21-12-94 с изм. 1, 2

 

Характеристики

Характеристики аргона

Общая характеристика

Бесцветный, нетоксичный, невзрывоопасный газ

Молекулярная масса

39,95 г/моль

CAS №

7440-37-1

 

 

№ ООН

1006

Температура кипения

- 185,9 °C

КЭМ

23

Температура плавления

- 189,6 °C

Класс опасности груза
(по ДОПОГ 2015)

2.2

Критическая температура

-122,5 °C

Знаки опасности

Критическое давление

4,86 МПа

 

Упаковка

Стандартное наполнение – 40-литровый баллон (~6,5 м2) . Возможно наполнение баллонов другого объема.

 

Транспортировка

В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 "О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением"

 

Рекомендуемый редуктор

Специальный редуктор для аргона.

 

Гарантийный срок хранения

18 месяцев.