Газовая продукция для микроэлектроники и лазеров
Тел/факс

+7(495)316-94-81

316-94-88

Водород

Синонимы: Hydrogen, диводород

Применение

Водород в основном используется как реагент вместе с трихлорсиланом или тетрахлоридом кремния в технологии получения эпитаксиальных слоев кремния, как разбавляющий газ, снижающий скорость образования диоксида кремния, как примеси в эпитаксиальных слоях кремния, а также сCVD-процессах.

 

Спецификация

У нас можно купить водород следующего качества

Марка

А

Б

6.0

Содержание основного вещества, не менее

99,99999 %

99,9999 %

99,9999%

Примеси:

Аргон/Кислород

< 0,02 ppm

< 0,2 ppm

< 0,2 ppm

Азот

< 0,05 ppm

< 0,5 ppm

< 0,2 ppm

Метан

< 0,03 ppm

< 0,3 ppm

-

Вода

< 0,2 ppm

< 2 ppm

< 1 ppm

Общие углеводороды

-

-

< 0,02 ppm

CO

-

-

< 0,1 ppm

CO2

-

-

< 0,02 ppm

Стандрат / ТУ

ТУ 2118-06-181136415-06

 

 

Характеристики

 

 

Общая характеристика

Бесцветный, горючий, взрывоопасный в смеси с кислородом (в т.ч. с воздухом) газ без запаха

Молекулярная масса

2 г/моль

CAS №

1333-74-0

 

 

№ ООН

1049

Температура кипения

- 273 °C

КЭМ

23П

Температура плавления

- 259 °C

Класс опасности груза
(по ГОСТу 19433-88)

2.1

Критическая температура

- 240 °C

Знаки опасности

Критическое давление

1,29 МПа

 

Упаковка

Стандартное наполнение – 40-литровый баллон (~5,7 м2). Возможно наполнение баллонов другого объема.

 

Транспортировка

В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 "О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением"

 

Рекомендуемый редуктор

Специальный редуктор для водорода

 

Гарантийный срок хранения

3 года.