Газовая продукция для микроэлектроники и лазеров
Тел/факс

+7(495)316-94-81

316-94-88

Газовые смеси моносилана с аргоном, водородом

Синонимы: Silane gas mixture

Применение

Газовые смеси моносилана (SiH4) применяют для получения эпитаксиальных, поликристаллических и диэлектрических слоев и пленок.

 

Спецификация

У нас можно купить смеси силана следующих марок

Марка

А

Б

В

Объемная доля моносилана

5±0,5%

10±0,5%

25±1%

 

Характеристики компонентов смесей

Показатели качества компонентов стандартных смесей

Моносилан

Водород

Аргон

Основное вещество

>99,99 %

>99,999 %

>99,9999 %

>99,99999 %

>99,998 %

>99,999 %

Кислород

O2+Ar
< 1 ppm

O2+Ar
< 0,1 ppm

O2+Ar
0,2 ppm

O2+Ar
20 ppb

2 ppm

2 ppm

Азот

< 5 ppm

< 2 ppm

0,5 ppm

50 ppb

10 ppm

3 ppm

Вода

-

< 0,1 ppm

2 ppm

0,2 ppm

3 ppm

3 ppm

Метан

< 1 ppm

< 0,1 ppm

0,3 ppm

30 ppb

1 ppm

0,5 ppm

Диоксид углерода

< 1 ppm

< 0,1 ppm

-

-

0,2 ppm

0,2 ppm

Водород

< 50 ppm

< 10 ppm

-

-

2 ppm

2 ppm

Оксид углерода

< 1 ppm

< 0,1 ppm

-

-

-

-

Хлорсиланы

< 10 ppm

< 1 ppm

-

-

-

-

Углеводороды C2-C4

< 1 ppm

< 1 ppm

-

-

-

-

Металлы

< 1 ppb

< 1 ppb

-

-

-

-

Возможно использование компонентов иной чистоты, а также других газов разбавителей по индивидуальному заказу.

Продукция соответствует ТУ 2114-001-16424433-99 с изм. 1, 2

 

Характеристики

Общая характеристика

Газовые смеси силана представляют собой бесцветный газ, токсичный, взрыво- и пожароопасный

 

силан

аргон

водород

 

 

Молекулярная масса

32 г/моль

40 г/моль

2 г/моль

№ ООН

UN1954

Температура кипения

- 111,9 °C

- 185,9 °C

- 273 °C

КЭМ

234 К

Температура плавления

- 185 °C

- 189,6 °C

- 259 °C

Класс опасности груза (по ДОПОГ 2015)

2.1

Критическая температура

- 3 °C

-122,5 °C

- 240 °C

Знаки опасности

 

Упаковка

Стандартное наполнение – 40-литровый  баллон (марка А 5,9±0,1м, марка Б 5,9±0,1м, марка В 4,9±01м). Возможно наполнение баллонов другого объема.

 

Транспортировка

В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 "О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением"

 

Рекомендуемый редуктор

Специальный редуктор для силана.

 

Гарантийный срок хранения

12 месяцев.