Газовая продукция для микроэлектроники и лазеров
Тел/факс

+7(495)316-94-81

316-94-88

Газовые смеси фосфина с аргоном

Синонимы: Phosphine argon gas mixture

Применение

Газовые смеси фосфина (PH3) с аргоном применяют в производстве полупроводниковых материалов как легирующий агент n-типа.

 

Спецификация

У нас можно купить смеси фосфина следующих марок

Марка

1

2

3

4

5

6

7

8

9

Объемная доля фосфина, %*

50±5

20±2

15±1

10±1

6±1

3±0,6

1,5±0,5

0,1-0,5

0,005-0,015

Примеси

Углеводороды в пересчете на метан, не более

5 ppm

2 ppm

1,5 ppm

1 ppm

1 ppm

1 ppm

1 ppm

1 ppm

1 ppm

Азот, не более

50 ppm

50 ppm

50 ppm

50 ppm

50 ppm

30 ppm

30 ppm

30 ppm

30 ppm

Диоксид углерода, не более

10 ppm

10 ppm

10 ppm

10 ppm

10 ppm

10 ppm

10 ppm

10 ppm

10 ppm

Кислород, не более

2 ppm

2 ppm

2 ppm

2 ppm

2 ppm

2 ppm

2 ppm

2 ppm

2 ppm

Водяные пары, не более

3 ppm

3 ppm

3 ppm

3 ppm

3 ppm

3 ppm

3 ppm

3 ppm

3 ppm

Содержание металлов, менее

1 ppm

1 ppm

1 ppm

1 ppm

1 ppm

1 ppm

1 ppm

1 ppm

1 ppm

 

Спецификация фосфина и аргона

Показатели качества компонентов стандартных смесей*

Фосфин

Аргон

Основное вещество

99,9998 %

99,998%

Аргон

< 0,5 ppm

 

Кислород

< 0,1 ppm

< 2 ppm

Азот

< 1 ppm

< 10 ppm

Вода

< 1 ppm

< 3 ppm

Метан

< 0,1 ppm

< 1 ppm

Этан

< 0,1 ppm

 

Пропан

< 0,1 ppm

 

Диоксид углерода

< 0,1 ppm

< 0,2 ppm

Оксид углерода

 < 0,1 ppm

 

Водород

 

< 2 ppm

Арсин

< 0,1 ppm

Аргон

Металлы

< 0,1 ppb

 

* Возможно использование компонентов иной чистоты, других газов разбавителей, а также иная объемная доля фосфина по индивидуальному заказу   

Продукция соответствует ТУ 2114-006-16424433-05

 

Характеристики

Характеристики фосфина и аргона

Общая характеристика

Газовые смеси фосфина представляют собой бесцветный, взрыво- и пожароопасный при концентрации фосфина выше 0,25%, токсичный.

 

фосфин

аргон

 

 

Молекулярная масса

34 г/моль

40 г/моль

№ ООН

1953/2199

Температура кипения

- 87,4 °C

- 185,9 °C

КЭМ

15 ДЭ

Температура плавления

- 132,5 °C

- 189,6 °C

Класс опасности груза (по ДОПОГ 2015)

2.3 + 2.1

Критическая температура

51,3 °C

- 122,5 °C

Знаки опасности

Критическое давление

6,54 МПа

4,86 МПа

 

Упаковка

Стандартное наполнение – 40-литровый  баллон (2 куб. м). Возможно наполнение баллонов другого объема.

 

Транспортировка

В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 "О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением".

 

Рекомендуемый редуктор

Стандартный редуктор для чистых газов.

 

Гарантийный срок хранения

12 месяцев.