Газовая продукция для микроэлектроники и лазеров
Тел/факс

+7(495)316-94-81

316-94-88

Газовые смеси фосфина с водородом

ПРИМЕНЕНИЕ:

Газовые смеси фосфина (PH3) с водородомприменяют в производстве полупроводниковых материалов

 

МАРКА

1

2

3

Сорт 1

Сорт 2

Объемная доля фосфина, %

10±1

10±1

0,24-0,16

0,005-0,001

Примеси*

Углеводороды в пересчете на метан, не более

1 ppm

5 ppm

1 ppm

1 ppm

Кислород и аргон, не более

50 ppm

100 ppm

50 ppm

50 ppm

Азот, не более

0,05 %

0,5%

50 ppm

50 ppm

Диоксид углерода, не более

30 ppm

50 ppm

30 ppm

30 ppm

 

Показатели качества компонентов стандартных смесей

Фосфин

Водород*

Основное вещество

99,9998 %

99,9999%

Аргон

< 0,5 ppm

Ar/O2 < 0,2 ppm

Кислород

< 0,1 ppm

 

Азот

< 1 ppm

< 0,5 ppm

Вода

< 1 ppm

< 2 ppm

Метан

< 0,1 ppm

< 0,3 ppm

Этан

< 0,1 ppm

 

Пропан

< 0,1 ppm

 

Диоксид углерода

< 0,1 ppm

 

Оксид углерода

 < 0,1 ppm

 

Водород

 

 

Арсин

< 0,1 ppm

Аргон

Металлы

< 0,1 ppb

 

* Возможно использование водорода иной чистоты

Продукция соответствует ТУ 2114-004-16422443-2000 изм.1

 

Общая характеристика

Газовые смеси фосфина представляют собой бесцветный газ, токсичный, взрыво- и пожароопасный

 

фосфин

водород

 

 

Молекулярная масса

34 г/моль

2 г/моль

№ ООН

1953/2199

Температура кипения

- 87,4 °C

- 273 °C

КЭМ

15 ДЭ

Температура плавления

- 132,5 °C

- 259 °C

Класс опасности груза (по ГОСТу 19433-88)

2.4

Критическая температура

51,3 °C

- 240 °C

Знаки опасности

 

Критическое давление

6,54 МПа

1,29 МПа

 

УПАКОВКА:

Стандартное  наполнение  –  40-литровый  баллон (2м?)
Возможно наполнение баллонов другого объема.

 

ТРАНСПОРТИРОВКА:

В соответствии с Правилами перевозки опасных грузов, а также с Правилами устройства и безопасной эксплуатации сосудов, работающих под давлением

 

РЕКОМЕНДУЕМЫЙ РЕДУКТОР:

импортный

 

ГАРАНТИЙНЫЙ СРОК ХРАНЕНИЯ:

1 год