Газовая продукция для микроэлектроники и лазеров
Тел/факс

+7(495)316-94-81

316-94-88

Газовые смеси фосфина с силаном, гелием

ПРИМЕНЕНИЕ:

Газовые смеси фосфина (PH3) с силаном (SiH4), а также газовые смеси фосфина (PH3) с гелиемприменяют в производстве полупроводниковых материалов

 

МАРКА

Фосфин с силаном

(ТУ 95120-93)

Фосфин с гелием
(ТУ 6-02-1-412-80)

2

3

Объемная доля фосфина, %*

50±5

20±2

50±3

Показатели качествакомпонентов стандартных смесей*

Фосфин

Силан

Гелий

Основное вещество

99,9998 %

99,999 %

99,995%

Аргон

< 0,5 ppm

 

 

Кислород

< 0,1 ppm

Ar+O2 < 0,1 ppm

Ar+O2  < 1 ppm

Азот

< 1 ppm

< 2 ppm

< 5 ppm

Вода

< 1 ppm

< 0,1 ppm

< 5 ppm

Метан

< 0,1 ppm

< 1 ppm

< 1 ppm

Этан

< 0,1 ppm

 

 

Пропан

< 0,1 ppm

 

 

Углеводороды

 

C2-C4 < 1 ppm

< 1 ppm

Диоксид углерода

< 0,1 ppm

< 0,1 ppm

CO+CO2 < 2 ppm

Оксид углерода

< 0,1 ppm

< 0,1 ppm

 

Водород

 

< 10 ppm

< 1 ppm

Хлорсиланы

 

< 1 ppm

 

Арсин

< 0,1 ppm

 

Аргон

Металлы

< 0,1 ppb

< 1 ppb

 

* Возможно использование компонентов иной чистоты, а также иная объемная доля фосфина по индивидуальному заказу 

 

Общая характеристика

Газовые смеси фосфина представляют собой бесцветный газ, токсичный, взрыво- и пожароопасный

 

фосфин

силан

гелий

 

 

Молекулярная масса

34 г/моль

32 г/моль

4 г/моль

№ ООН

1953/2199

Температура кипения

- 87,4 °C

- 111,9 °C

- 269 °C

КЭМ

15 ДЭ

Температура плавления

- 132,5 °C

- 185 °C

 

Класс опасности груза (по ГОСТу 19433-88)

2.4

Критическая температура

51,3 °C

- 3 °C

-267,95 °C

Знаки опасности

 

Критическое давление

6,54 МПа

4,28 МПа

0,23 МПа

 

УПАКОВКА:

Стандартное  наполнение  –  40-литровый  баллон 
(2м - смеси  с гелием, 2,2 кг – смесь 50% с силаном)
Возможно наполнение баллонов другого объема.

 

ТРАНСПОРТИРОВКА:

В соответствии с Правилами перевозки опасных грузов, а также с Правилами устройства и безопасной эксплуатации сосудов, работающих под давлением

 

РЕКОМЕНДУЕМЫЙ РЕДУКТОР:

импортный

 

ГАРАНТИЙНЫЙ СРОК ХРАНЕНИЯ:

1 год