Газовая продукция для микроэлектроники и лазеров
Тел/факс

+7(495)316-94-81

316-94-88

Дихлорсилан

Синонимы: Dichlorosilane, DCS

Применение

Дихлорсилан используется в технологии получения эпитаксиальных структур, поликристаллического кремния, двуокиси кремния, нитрида кремния.

Спецификация

У нас можно купить дихлорсилан следующего качества

Марка

50

120

Содержание основного вещества, не менее

97,2 %

98,0 %

Трихлорсилан и монохлорсилан, не более

2,4 %

1,6 %

Тетрахлорид кремния, не более

0,4 %

0,4 %

Металлы, менее

0,01 ppm

0,01 ppm

Удельное электрическое сопротивление

> 50 Ом· см

> 120 Ом· см

Продукция соответствует ТУ 2435-002-16422443-2000 с изм. 1

 

Характеристики

Характеристики дихлорсилана

Общая характеристика

Бесцветный, взрыво- и пожароопасный, высокотоксичный газ с резким специфическим запахом.

Молекулярная масса

101,01 г/моль

CAS №

4109-96-0

Давление пара при 20° C

 

№ ООН

UN2189

Температура кипения

8,3° C

КЭМ

15К

Температура плавления

- 122° C

Класс опасности груза
(по ДОПОГ 2015)

2.3 + 2.1 + 8

Критическая температура

176° C

Знаки опасности

Критическое давление

0,46 МПа

 

Упаковка

Стандартное наполнение – 40-литровый баллон (~30 кг). Возможно наполнение баллонов другого объема.

 

Транспортировка

В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 "О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением"

 

Рекомендуемый редуктор

Не требуется.

 

Гарантийный срок хранения

12 месяцев.