Газовая продукция для микроэлектроники и лазеров
Тел/факс

+7(495)316-94-81

316-94-88

Силан (моносилан)

Синонимы: Silane, Monosilane, силан, тетрагидрид кремния

Применение

Моносилан используется в технологии получения диоксида кремния, нитрида кремния, поликремния, аморфного кремния, а также структур (в том числе и кремний-германиевых) и пленок на их основе.

 

Спецификация

У нас можно купить моносилан следующего качества

Марка*

4.4

5.0

5.5

Содержание основного вещества,  не менее

99,994 %

99,999 %

99,9995%

Водород

< 50 ppm

< 10 ppm

< 1 ppm

Кислород + Аргон

< 2 ppm

< 1 ppm

< 1 ppm

Азот

< 5 ppm

< 5 ppm

< 1 ppm

Диоксид углерода

< 1 ppm

< 0,1 ppm

< 0,1 ppm

Оксид углерода

< 1 ppm

< 0,1 ppm

< 0,1 ppm

Метан

< 1 ppm

< 1 ppm

< 0,1 ppm

Углеводороды C2-C4

< 1 ppm

< 1 ppm

< 1 ppm

Вода

-

< 0,1 ppm

< 0,1 ppm

Хлорсиланы

< 10 ppm

< 1 ppm

< 1 ppm

Металлы

< 1 ppb

< 1 ppb

< 1 ppb

Удельное электрическое сопротивление 
(n-тип электропроводности)

> 1000 Ом·см

> 1000 Ом·см

> 1000 Ом·см

* Возможно производство другой марки 

Продукция соответствует ТУ 24-37-003-16422443-2000 с изм. 1, 2

 

Характеристики

Характеристики силана

Общая характеристика

Бесцветный, взрыво- и пожароопасный (самовоспламеняется на воздухе), токсичный, газ с резким специфическим запахом.

Молекулярная масса

32,12 г/моль

CAS №

7803-62-5

 

 

№ ООН

UN2203

Температура кипения

- 111,9 °C

КЭМ

234

Температура плавления

- 185 °C

Класс опасности груза
(по ДОПОГ 2015)

2.1

Критическая температура

- 3 °C

Знаки опасности

Критическое давление

4,28 МПа

 

Упаковка

Стандартное  наполнение  –  40-литровый  баллон (~5,5 кг). Возможно наполнение в баллоны другого объема.

 

Транспортировка

В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 "О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением"

 

Рекомендуемый редуктор

Высокочистый для силана

 

Гарантийный срок хранения

12 месяцев