Газовая продукция для микроэлектроники и лазеров
Тел/факс

+7(495)316-94-81

316-94-88

Треххлористый бор

ПРИМЕНЕНИЕ:

Треххлористый бор используется для плазменно-химического травления слоев на основе алюминия при производстве кремниевых интегральных схем

 

 

МАРКА

3.0

4.5

5.0

Содержание основного вещества, не менее

99,9%

99,995%

99,999 %

Примеси:

Хлористый метил (CH3Cl), не более

 

2 ppm

2 ppm

Хлористый метилен (CH2Cl2), не более

 

2 ppm

2 ppm

Хлор (Cl2), не более

100 ppm

10 ppm

1 ppm

Фосген (COCl2), не более

50 ppm

10 ppm

0,5 ppm

Четыреххлористый кремний (SiCl4), не более

50 ppm

3 ppm

3 ppm

Металлы, в т.ч.                               

 

 

 

Fe, не более

 

0,1 ppm

0,1 ppm

Cu, не более

 

0,01 ppm

0,01 ppm

Ni, не более

 

0,02 ppm

0,02 ppm

Cr, не более

 

0,02 ppm

0,02 ppm

Mn, не более

 

0,01 ppm

0,01 ppm

Co, не более

 

0,01 ppm

0,01 ppm

Mg, не более

 

0,02 ppm

0,02 ppm

Al, не более

 

0,03 ppm

0,03 ppm

Ca, не более

 

0,02 ppm

0,02 ppm

Zn, не более

 

0,03 ppm

0,03 ppm

Cd, не более

 

0,01 ppm

0,01 ppm

Sn, не более

 

0,02 ppm

0,02 ppm

Pb, не более

 

0,02 ppm

0,02 ppm

Sb, не более

 

0,01 ppm

0,01 ppm

Bi, не более

 

0,01 ppm

0,01 ppm

Mo, не более

 

0,01 ppm

0,01 ppm

Продукция соответствует ТУ 1-00-07526811-31-93

 

 

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА:

бесцветный, негорючий, токсичный, коррозийный газ

 

Молярная масса

117,3

CAS №

10294-34-5

 

 

№ ООН

1741

Температура кипения

12 °C

КЭМ

345 КЭ

Температура плавления

- 107 °C

Класс опасности груза
(по ГОСТу 19433-88)

2.3

Критическая температура

178,8 °C

Знаки опасности

Критическое давление

3,87 МПа

 

 

УПАКОВКА:

стандартное наполнение – 10-литровый баллон (~10 кг). 
Возможно наполнение баллонов другого объема.

 

 

ТРАНСПОРТИРОВКА:

в соответствии с Правилами перевозки опасных грузов, а также с Правилами устройства и безопасной эксплуатации сосудов, работающих под давлением

 

 

РЕКОМЕНДУЕМЫЙ РЕДУКТОР:

импортный

 

ГАРАНТИЙНЫЙ СРОК ХРАНЕНИЯ:

12 месяцев