Газовая продукция для микроэлектроники и лазеров
Тел/факс

+7(495)316-94-81

316-94-88

Трифторид азота

Синонимы: Nitrogen trifluoride

Применение

Трифторид азота используется в процессах травления металлов в микроэлектронике, в качестве фторирующего агента в органических синтезах.

 

Спецификация

У нас можно купить трифторид азота следующих марок

Марка

4.0

Содержание основного вещества, не менее

99,99 %

Примеси:

CF4

< 50 ppm

CO

< 0,5 ppm

CO2

< 5 ppm

H2O

< 1 ppm

N2

< 7 ppm

N2O

< 5 ppm

O2 + Ar

< 15 ppm

SF6

< 10 ppm

HF

< 1 ppm

C2F6

< 1 ppm

 

Характеристики

 

Характеристики трифторида азота

Общая характеристика

Бесцветный, негорючий газ без запаха, окислитель.

Молекулярная масса

71 г/моль

CAS №

7783-54-2

 

 

№ ООН

UN2451

Температура кипения

- 129 °C

КЭМ

Температура плавления

- 207 °C

Класс опасности груза
(по ДОПОГ 2105)

2.2 + 5.1

Критическая температура

-39,25 °C

Знаки опасности

 

Критическое давление

4,531 МПа

 

Упаковка

Стандартное наполнение – 40-литровый баллон (~18 кг). Возможно наполнение баллонов другого объема.

 

Транспортировка

В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 "О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением"
 

Рекомендуемый редуктор

Специальный редуктор для трифторида азота.

 

Гарантийный срок хранения

3 года.