Газовая продукция для микроэлектроники и лазеров
Тел/факс

+7(495)316-94-81

316-94-88

Хладон 14 (Тетрафторметан)

Синонимы: R14, Tetrafluorocarbon, тетрафторметан, хладон 14

Применение

Хладон-14 в смеси с кислородом применяется для травления поликремния, диоксида и нитрида кремния, а также некоторых металлов и силицидов металлов.

 

Спецификация

У нас можно купить хладон 14 следующих марок

Марка

2.2*

5.0

Содержание основного вещества, %  не менее

99,2

99,999

Примеси:

 

 

Кислород

Суммарно 
< 0,7%

< 2 ppm

Азот

< 5 ppm

Оксид углерода

< 1 ppm

Диоксид углерода

-

< 1 ppm

Суммарная объемная доля высококипящих примесей

< 0,1%

-

Вода

0,001 %

< 1 ppm

Стандарт / ТУ

ТУ 301-14-78-92, изм. 1, 2, 3, 4, 5 4

 

 

Характеристики

Характеристики тетрафторметана

Общая характеристика

Бесцветный, негорючий, взрывобезопасный и малотоксичный  газ со слабым запахом тетрахлорметана

Молекулярная масса

 88,01 г/моль

CAS №

75-73-0

 

 

№ ООН

UN1982            

Температура кипения

- 128,0° C

КЭМ

23

Температура плавления

- 183,6° C

Класс опасности груза
(по ДОПОГ 2015)

2.2

Критическая температура

- 45,65° C

Знаки опасности

Критическое давление

3,745 МПа

 

Упаковка

Стандартное наполнение – 40-литровый баллон (~29 кг). Возможно наполнение баллонов другого объема.

 

Транспортировка

В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 "О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением"

 

Рекомендуемый редуктор

Стандартный редуктор для чистых газов.

 

Гарантийный срок хранения

5 лет.