Газовая продукция для микроэлектроники и лазеров
Тел/факс

+7(495)316-94-81

316-94-88

Хладон-23 (Трифторметан)

Синонимы

Трифторметан, trifluoromethane, carbon trifluoride; fluoroform; freon 23; Halocarbon 23; R-23; R23

Применение

Хладон 23 используется в качестве реагента для сухого травления при изготовлении интегральных микросхем.

 

Спецификация

У нас можно купить хладон 23 следующих марок

МАРКА

2.8

5.0

Содержание основного вещества, не менее

99,8 %

99,999%

Примеси:

Дифторхлорметана и трифторхлорметана в сумме

< 0,2 %

-

Вода

< 0,002 %

< 5 ppm
Азот - < 10 ppm
Кислород - < 5 ppm
Диоксид углерода - < 2 ppm
Общие углеводороды по метану - < 1 ppm
Другие галогенуглеводороды - < 5 ppm
Кислотность по HF - < 0,1 ppm
Стандарт/ТУ ТУ 6-02-1321-85 изм.1, 2, 3, 4  

 

Характеристики

Основные свойства хладона 23

Общая характеристика

без цвета и запаха, негорюч, невзрывоопасен, малотоксичен

Молекулярная масса

70,01 г/моль

CAS №

75-46-7

Давление паров при 20° С

4,38 МПа

№ ООН

UN1984

Температура кипения

- 82,2° C

КЭМ

23

Температура плавления

- 155,15° C

Класс опасности груза
(по ДОПОГ 2015)

2.2

Критическая температура

25,85 °C

Знаки опасности

Критическое давление

4,82 МПа

 

Упаковка

Стандартное наполнение – 40-литровый баллон (~20 кг). Возможно наполнение баллонов другого объема.

 

Транспортировка

В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 "О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением".

 

Рекомендуемый редуктор

Стандартный редуктор для чистых газов.

 

Гарантийный срок хранения

5 лет.