Газовая продукция для микроэлектроники и лазеров
Тел/факс

+7(495)316-94-81

316-94-88

Хлористый водород

ПРИМЕНЕНИЕ:

Хлористый водород применяется в процессах термической обработки и осаждения слоев поликристаллического кремния на поверхности полупроводниковых пластин в микроэлектронном производстве.

 

МАРКА

5.0

Содержание основного вещества, не менее

99,999 %

Примеси:

Объемная доля азота, не более

2 ppm

Объемная доля кислорода, не более              

1 ppm

Объемная доля оксида углерода, не более     

1 ppm

Объемная доля диоксида углерода, не более           

5 ppm

Объемная доля углеводородов, не более     

1 ppm

Объемная доля воды, не более     

2 ppm

Объемная доля железа, не более     

1 ppm

 

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА:

бесцветный, негорючий, гигроскопичный, коррозийный, ядовитый газ с резким характерным запахом

 

 

Молекулярная масса

36,46 г/моль

CAS №

7647-01-0

 

 

№ ООН

1050

Температура кипения

- 85 °С

КЭМ

5КЭ

Температура плавления

- 114,2 °С

Класс опасности груза
(по ГОСТу 19433-88)

2.3

Критическая температура

51,4 °С

Знаки опасности

 

Критическое давление

8,26 МПа

 

УПАКОВКА:

стандартное наполнение – 47-литровый баллон (~34,5 кг) и 50-литровый баллон (~37 кг). 
Возможно наполнение баллонов другого объема.

 

ТРАНСПОРТИРОВКА:

в соответствии с Правилами перевозки опасных грузов, а также с правилами устройства и безопасной эксплуатации сосудов, работающих под давлением

 

РЕКОМЕНДУЕМЫЙ РЕДУКТОР:

импортный

 

ГАРАНТИЙНЫЙ СРОК ХРАНЕНИЯ:

1 год