Газовая продукция для микроэлектроники и лазеров
Тел/факс

+7(495)316-94-81

316-94-88

Газовые смеси для эксимерных лазеров

Синонимы: Premix, Buffer

Применение

Премиксы и буферы – это газовые смеси, являющиеся рабочим телом эксимерного лазера. Ими заправляют лазеры, используемые в офтальмологии, косметической медицине, для обработки материалов, литографии и научных исследований.  В состав премикса могут входить гелий, неон, аргон, криптон, ксенон, фтор в различных сочетаниях, а также хлороводород и водород. В состав буфера входят только инертные газы. Для каждой модели лазера обычно используются смеси уникального процентного состава.

Спецификация

У нас можно купить премиксы и буферы для эксимерных лазеров

Лазер

Тип

Длина волны

Состав смеси

COMPexPro 102, COMPexPro110

XeCl

308 нм

HCl + H2 + He + Xe + Ne

COMPexPro 201, COMPexPro 205

HCl + H2 + He + Xe + Ne

COMPexPro 102, COMPexPro110

KrF

248 нм

F2 + He + Kr + Ne

COMPexPro 201, COMPexPro 205

F2 + He + Kr + Ne

BraggStar M

F2 + He + Kr + Ne

COMPexPro 102, COMPexPro 110

ArF

193 нм

F2 + Ar + Ne + He

COMPexPro 201, COMPexPro 205

F2 + He + Ar + Ne

COMPexPro F2

F2

157 нм

F2 + He

COMPexPro 102, COMPexPro110

XeF

351 нм

F2 + He + Xe + Ne

COMPexPro 201, COMPexPro 205

F2 + Xe + Ne + He

NIDEK

ArF

193 нм

Ar + Ne + He (NIDEK BUFER)

F2 + He (NIDEK FLOURINE)

F2 + Ar + He + Ne (NIDEK PREMIX)

SCHWIND AMARIS

ArF

193 нм

F2 + He + Ar + Ne (SCHWIND)

STAR S4 IR®

ArF

193 нм

F2 + He + Ar + Ne (VISX PREMIX)

He (VISX HELIUM)

WaveLight Allegretto Wave Eye-Q

ArF

193 нм

F2 + He + Ar + Ne

МикроСкан, МикроСкан - ЦФП (OOO "Оптосистемы")

 

ArF

193 нм

F2 + Ar + Ne

CL 5100, 5200, 5300 (OOO "Оптосистемы")

FKr

248 нм

F2 + He + Kr + Ne

МЛ-308

XeCl

308 нм

HCl + Xe + Ne

Лазеры, используемые в литографии, отжиге и других технологиях

ArF

193 нм

1% F2 + 3,5% Ar + Ne

XeCl

308 нм

10 ppm Xe + 3,5% Ar + Ne

HCl + H2 + Ne

KrF

248 нм

1% F2 + 1,25% Kr + Ne

1,25% Kr + Ne

CL7100 (OOO "Оптосистемы") KrF 248 нм F2 + He + Kr + Ne
Technolas (Bausch & Lomb) ArF 193 нм F2 + He + Ar + Ne
CL7000 (OOO "Оптосистемы") ArF 193 нм F+ He + Ne + Ar + Xe (CL7000 PREMIX)
Cymer  KrF 248нм F2 + Ne + Kr (Cymer PREMIX)
Лазеры для фотолитографии ArF 193 нм F2 +Ne + Ar + Xe (ARF1, ARF2)
EX5 eximer laser (GAM LASER Inc.) ArF 193 нм F+ Ne + Ar + O2
MEL 80 Excimer Laser (Carl Zeiss) ArF 193 нм F+ Ne + Ar (Carl Zeiss MEDITEC ARF PREMIX C)
Другие смеси по запросу

 

Газы, используемые для приготовления премиксов

Газ

Чистота

He

99,9999%

Ne

99,9995%

Ar

99,9999%

Kr

99,9999%

Xe

99,99995%

 

При заказе эксимерных смесей рекомендуется дать полную информацию: модель и тип лазера, состав смеси, объем баллона, желаемое давление или количество смеси в баллоне.

 

Характеристики

Характеристики премиксов

Общая характеристика премиксов

Бесцветный газ с запахом похожим на йод, озон (для смесей фтора) или хлористого водорода. Содержащийся в премиксе галоген является окислителем, при растворении в воде образуется кислый раствор.

Общая характеристика буферов

Бесцветный газ без запаха, не реагирует с водой. Смеси содержащие большие концетрации ксенона и криптона могут оказать воздействие на центральную нервную систему.

Молекулярная масса

не применимо

CAS №

 

 

 

№ ООН

1956

Температура плавления

не применимо

КЭМ

 

Температура кипения

не применимо

Класс опасности груза (ДОПОГ 2015)

2.2

Критическая температура

не применимо

Знаки опасности

Символ (газовый баллон): черный; фон: зеленый; цифра "2" в нижнем углуСимвол (газовый баллон): белый; фон: зеленый; цифра "2" в нижнем углу

Критическое давление

не применимо

Упаковка

Баллоны из нормализованной стали (NS), стали, прошедшей закалку и отпуск (QTS), или нержавеющей стали (SS).

Объем, дм3

Размер ⌀D×H, см

Вес, кг

10

⌀14×82

14

16

⌀18×78

20

20

⌀20,5×81

25

40

⌀22×128

39

50

⌀23,5×147

57

Давление газа в баллоне 100 – 150 бар.

Перед заправкой смеси производится пассивация поверхности.

Вентиль из нержавеющей стали или бронзы, устойчивой к фтору. Выходной штуцер DIN 14, DIN 8. Другие по запросу.

Стандартные баллоны для заполнения премиксом и буфером объемом от 10 до 50 л
Стандартные баллоны для заполнения премиксом и буфером

Транспортировка

В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 "О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением"

 

Гарантийный срок хранения

24 месяца