Газовая продукция для микроэлектроники и лазеров
Тел/факс

+7(495)316-94-81

316-94-88

Шестифтористая сера (элегаз)

Синонимы: Sulfur hexafluoride, гексафторид серы

Применение

Элегаз применяется в электротехнической промышленности в качестве диэлектрика В микроэлектронике гексафторид серы используется как источник фтора для травления в плазме высокой плотности без образования углеродсодержащих продуктов. SF6 используют для травления силицидов металлов (например, вольфрама), нитридов и оксидов на металлических подложках.

 

Спецификация

У нас можно купить элегаз следующего качества

Марка

3.0

5.0

Содержание основного вещества, не менее

99,9 %

99,999%

Примеси:

Кислород, азот, воздух (суммарно)

< 0,05 %

-

Тетрафторметан

< 0,05 %

-

Вода, %, не более

< 0,0015 %

-

Кислотность в пересчете на фтористый водород

< 0,00003 %

-

Гидролизуемые фториды

< 0,0001 %

-

O2 + Ar

-

< 2 ppm

N2

-

< 3 ppm

CO

-

< 0,5 ppm

CO2

-

< 0,5 ppm

CF4

-

< 0,5 ppm

H2O

-

< 2 ppm

HF

-

< 0,1 ppm

Общие углеводороды по метану

-

< 0,1 ppm

Стандарт / ТУ

ТУ 6-02-1249-83

 

 

Характеристики

Свойства элегаза

Общая характеристика

Тяжелый, нетоксичный, негорючий инертный газ без цвета и запаха.

Молекулярная масса

146,06 г/моль

CAS №

2551-62-4

Давление паров при 20° С

20,5 бар

№ ООН

UN1080

Температура кипения

- 63,8° С

КЭМ

23

Температура плавления

- 50,8° С

Класс опасности груза
(по ДОПОГ 2015)

2.2

Критическая температура

45,6° C

Знаки опасности

Критическое давление

3,76 МПа

 

Упаковка

Стандартное наполнение – 40-литровый баллон (~56 кг). Возможно наполнение баллонов другого объема.

 

Транспортировка

В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 "О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением".

 

Рекомендуемый редуктор

Стандартный редуктор для чистых газов.

 

Гарантийный срок хранения

5 лет.