Газовая продукция для микроэлектроники и лазеров
Тел/факс

+7(495)316-94-81

316-94-88

Хладон 116 (гексафторэтан)

Синонимы: Hexafluoroethane, R116, гексафторэтан

Применение

Наиболее универсальный травящий агент. Может использоваться для селективного травления силицидов металлов и оксидных пленок на металлических подложках. В смеси с кислородом стравливает фоторезист.

 

Спецификация

У нас можно купить хладон 116 следующих марок

Марка

5.0

Содержание основного вещества, не менее

99,999%

Примеси:

N2

< 4 ppm

O2

< 1 ppm

Общие углеводороды

< 1 ppm

CO2

< 2 ppm

CO

< 1 ppm

H2O

< 1 ppm

Кислотность по HF

< 0,1 ppm

 

Характеристики

Характеристики хладона 116

Общая характиристика

Газ без цвета и запаха.

Молекулярная масса

138,01182 г/моль

CAS №

76-16-4

Давление паров при 19,7° С

29,8 бар

№ ООН

UN2193

Температура кипения

-78,2° C

КЭМ

 

Температура плавления

-100,6° C

Класс опасности груза
(по ДОПОГ 2015)

2.2

Критическая температура

19,7° C

Знаки опасности

Критическое давление

2,98 МПа

 

Упаковка

Заполняется в баллоны от 10 до 40 л. Вентиль мембранный латунный, подсоединение DIN 9 (G3/4) или DIN 6 (СП 21,8 × 14 нит/дюйм), другие по запросу.

 

Транспортировка

В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 "О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением".

 

Рекомендуемый редуктор

Стандартный редуктор для чистых газов.

 

Гарантийный срок хранения

12 месяцев.