Газовая продукция для микроэлектроники и лазеров
Тел/факс

+7(495)316-94-81

316-94-88

Кремния тетрафторид

Синонимы: Silicon tetrafluoride, тетрафторсилан

Применение

Тетрафторид кремния используется в микроэлектронике для ионной имплантации и совместно с силаном для плазменного осаждения фторированного кремния.

 

Спецификация

У нас можно купить тетрафторид кремния следующих марок

Марка

5.0

Содержание основного вещества, не менее

99,999%

Примеси:

O2 + Ar

< 1 ppm

N2

< 3 ppm

CO

< 0,5 ppm

CO2

< 1 ppm

CH4

< 10 ppm

As

< 0,5 ppm

B

< 0,5 ppm

P

< 0,5 ppm

 

Характеристики

Характеристики тетрафторида кремния

Общая характиристика

 

Молекулярная масса

104,07911 г/моль

CAS №

7783-61-1

 

 

№ ООН

UN1859

Температура кипения

-95,2° C

КЭМ

 

Температура плавления

-86,8° C при 2,24 бар

Класс опасности груза
(по ДОПОГ 2015)

2.3 + 8

Критическая температура

-14,2° C

Знаки опасности

Критическое давление

3,715 МПа

 

Упаковка

Стандартные баллоны для тетрафторида кремния

Объем, дм3

Размер ⌀D×H, см

Вес баллона, кг

Максимальное заполнение, кг

10

⌀14×82

14

4-8

40 (импортный)

⌀23×128

39

16-32

40 (РФ)

⌀22×128

65

16-32

50

⌀23,5×147

57

20-40

Вентиль мембранный из нержавеющей стали, подсоединение DIN 8 (G3/4) или DIN 6 (СП 21,8 × 14 нит/дюйм), другие по запросу.


Стандартные баллоны под тетрафторид кремния

 

Транспортировка

В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 "О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением".

 

Рекомендуемый редуктор

Специальный коррозионностойкий редуктор для данного газа.

 

Гарантийный срок хранения

12 месяцев.