Газовая продукция для микроэлектроники и лазеров
Тел/факс

+7(495)316-94-81

316-94-88

Трихлорсилан ОСЧ

Синонимы: Trichlorosilane, силикохлороформ

Применение

Тетрахлорид кремния используется в производстве поликристаллического, полупроводникового кремния, эпитаксиальных кремниевых структур, а также кремнийорганических соединений.

Спецификация

У нас можно купить трихлорсилан следующего качества

Трихлорсилан

> 99,995%

Тетрахлорид кремния

< 15 ppm

Дихлорсилан

< 15 ppm

Углеводороды С14

< 0,1 ppm

Cu, Ni, Cr, Mn, Mg, Co, Al, Ca, Zn, Cd, Sn, Pb, Sb, Bi, Mo

< 1 ppb

(для каждого)

Электрическое сопротивление эпитаксиальных пленок

> 2000 Ом·см

 

Характеристики

Характеристики трихлорсилана

Общая характеристика

Бесцветная прозрачная дымящая на воздухе, горючая, коррозионная, высокотоксичная жидкость с резким удушливым запахом. Бурно взаимодействует с водой с выделением водорода и хлористого водорода.

Молекулярная масса

135.45 г/моль

CAS №

10025-78-2

Давление паров при 20° C

0,7 бар изб.

№ ООН

UN1295

Температура плавления

- 126,6° C

КЭМ

 

Температура кипения

31,8° C

Класс опасности груза
(ДОПОГ 2015)

4.3

Критическая температура

206° C

Знаки опасности

Символ (пламя): черный; фон: красный; цифра "3" в нижнем углуСимвол (пламя): белый; фон: красный; цифра "3" в нижнем углу

Символ (жидкости, выливающиеся из двух пробирок и поражающие руку или металл): черный; фон: верхняя половина белая, нижняя - черная с белой каймой; цифра "8" в нижнем углу

Критическое давление

4,17 МПа

 

Упаковка

Контейнеры из нержавеющей стали, оборудованные кранами для паровой и жидкой фазы.

Стандартные контейнеры под трихлорсилан

Объем контейнера, дм3

Максимальная загрузка трихлорсилана, кг

22,4

27

240

289

Контейнер из нержавеющей стали диаметром 650 мм, высотой 1050 мм, два крана для паровой и жидкой фазы.
Контейнер 240 л

 

Транспортировка

В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 "О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением"

Гарантийный срок хранения

8 месяцев