Газовая продукция для микроэлектроники и лазеров
Тел/факс

+7(495)316-94-81

316-94-88

Газовая смесь диборана с водородом

Синонимы: Diborane hydrogen gas mixture, Boron hydride, Diboron hexahydride, Boroethane

Применение

Диборан используется как источник легирующего атома бора в технологии эпитаксиальных кремниевых пленок.

Спецификация

У нас можно купить газовую смесь диборана с водородом следующих марок

Марка

2%

Содержание диборана

1,9 - 2,1%

Содержание водорода

баланс

Примеси в диборане:

O2 + Ar

< 1 ppm

N2

< 10 ppm

CO2

< 5 ppm

CH4

< 5 ppm

BF3

< 50 ppm

Высшие бораны

< 350 ppm

Примеси в водороде:

O2

< 0,2 ppm

N2

< 0,2 ppm

CnHm

< 0,02 ppm

CO

< 0,1 ppm

CO2

< 0,02 ppm

H2O

< 1 ppm

По запросу возможно изготовление смесей диборана с другой концетрацией и в другом балансе.

 

Характеристики

Характеристики диборана

Общая характиристика

 

Молекулярная масса

27,66964 г/моль

CAS №

19287-45-7 

 

 

№ ООН

UN1911 (чистый диборан), UN1954 (газовая смесь)

Температура кипения

-92,5° C

КЭМ

 

Температура плавления

 

Класс опасности груза
(по ДОПОГ 2015)

2.1

Критическая температура

16,65° C

Знаки опасности

Критическое давление

4,053 МПа

 

Упаковка

Стандартные баллоны для ХХХ

Объем, дм3

Размер ⌀D×H, см

Вес баллона, кг

Максимальное заполнение, куб. м

10

⌀14×82

14

0,89

40 (импортный)

⌀23×128

39

3,55

40 (РФ)

⌀22×128

65

3,55

50

⌀23,5×147

57

4,44

Вентиль мембранный латунный, подсоединение DIN 6 (СП 21,8 лев. × 14 нит/дюйм), другие по запросу.


Стандартные баллоны под смесь диборана с водородом

 

Транспортировка

В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 "О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением"

 

Рекомендуемый редуктор

Специальный редуктор для данного газа.

 

Гарантийный срок хранения

12 месяцев