Газовая продукция для микроэлектроники и лазеров
Тел/факс

+7(495)316-94-81

316-94-88

Хладон 318C (октофторциклобутан)

Синонимы: Octafluorocyclobutane, RC318, R318C, Perfluorocyclobutane, октофторциклобутан, перфторциклобутан, хладон 318Ц

Применение

Используется в микроэлектронике для плазменного травления пленок кремния и диоксида кремния.

Спецификация

У нас можно купить хладон 318C следующих марок

Марка

3.0

5.0

Содержание основного вещества, не менее

99,9%

99,999%

Примеси:

Примеси, определяемые хроматографическим методом

< 0,1 %

-

Органические примеси

-

< 10 ppm

N2

-

< 5 ppm

O2

-

< 2 ppm

H2O

-

< 3 ppm

Кислотность по HF

-

< 1 ppm

 

Характеристики

Характеристики октафторциклобутана

Общая характиристика

Газ без цвета и запаха. Нетоксичен.

Молекулярная масса

200,03003 г/моль

CAS №

115-25-3

Давление паров при 20° С

1,7 бар

№ ООН

UN1976

Температура кипения

-5,99° C

КЭМ

 

Температура плавления

-41,4° C

Класс опасности груза
(по ДОПОГ 2015)

2.2

Критическая температура

115,22° C

Знаки опасности

Критическое давление

2,777 МПа

 

Упаковка

Стандартные баллоны для хладона 318C

Объем, дм3

Размер ⌀D×H, см

Вес баллона, кг

Максимальное заполнение, кг

10

⌀14×82

14

9,4

20

⌀18×104

24

18,8

40 (импортный)

⌀23×128

39

37,6

40 (РФ)

⌀22×128

65

37,6

50

⌀23,5×147

57

47

Вентиль мембранный латунный, подсоединение DIN 9 (G3/4) или DIN 6 (СП 21,8 × 14 нит/дюйм), другие по запросу.


Стандартные баллоны под хладон 318Ц

 

Транспортировка

В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 "О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением"

 

Рекомендуемый редуктор

Специальный редуктор для данного газа.

 

Гарантийный срок хранения

12 месяцев.