SiH2Cl2
Дихлорсилан
Premix / Buffer
Газовые смеси для эксимерных лазеров
SiCl4
Тетрахлорид кремния
SiHCl3
Трихлорсилан ОСЧ
CH4
Метан
NF3
Трифторид азота
SiF4
Кремния тетрафторид
CF4
Хладон 14 (Тетрафторметан)
C2F6
Хладон 116 (гексафторэтан)
N2
Азот
C3F8
Хладон-218 (Октафторпропан)
Cl2
Хлор
NH3
Аммиак
CHF3
Хладон-23 (Трифторметан)
Ar
Аргон
HCl
Хлористый водород
H2
Водород
SF6
Шестифтористая сера (элегаз)
SiH4+Ar / SiH4+H2
Газовые смеси моносилана с аргоном, водородом
PH3+Ar
Газовые смеси фосфина с аргоном
PH3+H2
Газовые смеси фосфина с водородом
PH3+SiH4 / PH3+He
Газовые смеси фосфина с силаном, гелием
O2
Кислород особой чистоты 99,999% и 99,9999%
He
Гелий
HBr
Бромоводород
N2O
Закись азота ОСЧ
BF3
Флюбор (бор трехфтористый)
GeH4
Моногерман
B(CH3)3
Газовая смесь триметилбора с водородом
SiH4
Силан (моносилан)
B2H6
Газовая смесь диборана с водородом
Gas / mix
Газовые смеси прочие
BCl3
Треххлористый бор
C4F8
Хладон 318C (октофторциклобутан)