Premix / Buffer
Газовые смеси для эксимерных лазеров
SiH2Cl2
Дихлорсилан
SiCl4
Тетрахлорид кремния
SiHCl3
Трихлорсилан ОСЧ
CH4
Метан
C3F8
Хладон-218 (Октафторпропан)
Cl2
Хлор
N2
Азот
CHF3
Хладон-23 (Трифторметан)
NH3
Аммиак
HCl
Хлористый водород
Ar
Аргон
SF6
Шестифтористая сера (элегаз)
H2
Водород
SiH4+Ar / SiH4+H2
Газовые смеси моносилана с аргоном, водородом
PH3+Ar
Газовые смеси фосфина с аргоном
PH3+H2
Газовые смеси фосфина с водородом
O2
Кислород особой чистоты 99,999% и 99,9999%
PH3+SiH4 / PH3+He
Газовые смеси фосфина с силаном, гелием
HBr
Бромоводород
He
Гелий
BF3
Флюбор (бор трехфтористый)
N2O
Закись азота ОСЧ
B(CH3)3
Газовая смесь триметилбора с водородом
GeH4
Моногерман
B2H6
Газовая смесь диборана с водородом
SiH4
Силан (моносилан)
Gas / mix
Газовые смеси прочие
BCl3
Треххлористый бор
C4F8
Хладон 318C (октофторциклобутан)
NF3
Трифторид азота
SiF4
Кремния тетрафторид
CF4
Хладон 14 (Тетрафторметан)
C2F6
Хладон 116 (гексафторэтан)