Хладон-23 (Трифторметан)
Синонимы
Трифторметан, trifluoromethane, carbon trifluoride; fluoroform; freon 23; Halocarbon 23; R-23; R23
Применение
Хладон 23 используется в качестве реагента для сухого травления при изготовлении интегральных микросхем.
Спецификация
МАРКА |
2.8 |
5.0 |
---|---|---|
Содержание основного вещества, не менее |
99,8 % |
99,999% |
Примеси: |
||
Дифторхлорметана и трифторхлорметана в сумме |
< 0,2 % |
- |
Вода |
< 0,002 % |
< 5 ppm |
Азот | - | < 10 ppm |
Кислород | - | < 5 ppm |
Диоксид углерода | - | < 2 ppm |
Общие углеводороды по метану | - | < 1 ppm |
Другие галогенуглеводороды | - | < 5 ppm |
Кислотность по HF | - | < 0,1 ppm |
Стандарт/ТУ | ТУ 6-02-1321-85 изм.1, 2, 3, 4 |
Характеристики
Общая характеристика |
без цвета и запаха, негорюч, невзрывоопасен, малотоксичен |
|||
Молекулярная масса |
70,01 г/моль |
CAS № |
75-46-7 |
|
Давление паров при 20° С |
43,8 бар |
№ ООН |
UN1984 |
|
Температура кипения |
- 82,2° C |
КЭМ |
23 |
|
Температура плавления |
- 155,15° C |
Класс опасности груза |
2.2 |
|
Критическая температура |
25,85 °C |
Знаки опасности |
|
|
Критическое давление |
4,82 МПа |
Упаковка
Стандартное наполнение – 40-литровый баллон (~20 кг). Возможно наполнение баллонов другого объема.
Транспортировка
В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 "О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением".
Рекомендуемый редуктор
Стандартный редуктор для чистых газов.
Гарантийный срок хранения
5 лет.