Производитель газов для микроэлектроники и лазеров
Тел/факс

+7 (926) 007-65-43

+7 (495) 316-94-81

Галогеновый фильтр

Фильтр предназначен для поглощения фтора из отработанного газа эксимерного лазера. Действие фильтра основано на химическом преобразовании фтора в безвредные соединения.

Выпускается нами в двух вариантах, отличающихся размером фильтрующего элемента. Возможно изготовление фильтров по размерам заказчика.


Фильтр для утилизации фторных (эксимерных) смесей


Фильтр для утилизации фторных (эксимерных) смесей


Перезаправка многоразовых фильтров для утилизации фторных (эксимерных) смесей