Галогеновый фильтр

Фильтр предназначен для поглощения фтора из отработанного газа эксимерного лазера. Действие фильтра основано на химическом преобразовании фтора в безвредные соединения.

Выпускается в двух вариантах, отличающихся размером фильтрующего элемента.