Газовая продукция для микроэлектроники и лазеров
Тел/факс

+7 (926) 007-65-43

+7 (495) 316-94-81

Галогеновый фильтр

Фильтр предназначен для поглощения фтора из отработанного газа эксимерного лазера. Действие фильтра основано на химическом преобразовании фтора в безвредные соединения.

Выпускается в двух вариантах, отличающихся размером фильтрующего элемента.