Галогеновый фильтр
Фильтр предназначен для поглощения фтора из отработанного газа эксимерного лазера. Действие фильтра основано на химическом преобразовании фтора в безвредные соединения.
Выпускается в двух вариантах, отличающихся размером фильтрующего элемента.