Водород
Синонимы: Hydrogen, диводород
Применение
Водород в основном используется как реагент вместе с трихлорсиланом или тетрахлоридом кремния в технологии получения эпитаксиальных слоев кремния, как разбавляющий газ, снижающий скорость образования диоксида кремния, как примеси в эпитаксиальных слоях кремния, а также сCVD-процессах.
Спецификация
|
Марка |
А |
Б |
6.0 |
|---|---|---|---|
|
Содержание основного вещества, не менее |
99,99999 % |
99,9999 % |
99,9999% |
|
Примеси: |
|||
|
Аргон/Кислород |
< 0,02 ppm |
< 0,2 ppm |
< 0,2 ppm |
|
Азот |
< 0,05 ppm |
< 0,5 ppm |
< 0,2 ppm |
|
Метан |
< 0,03 ppm |
< 0,3 ppm |
- |
|
Вода |
< 0,2 ppm |
< 2 ppm |
< 1 ppm |
|
Общие углеводороды |
- |
- |
< 0,02 ppm |
|
CO |
- |
- |
< 0,1 ppm |
|
CO2 |
- |
- |
< 0,02 ppm |
|
Стандрат / ТУ |
ТУ 2118-06-181136415-06 |
|
|
Характеристики
|
Общая характеристика |
Бесцветный, горючий, взрывоопасный в смеси с кислородом (в т.ч. с воздухом) газ без запаха |
||
|
Молекулярная масса |
2 г/моль |
CAS № |
1333-74-0 |
|
|
№ ООН |
1049 |
|
|
Температура кипения |
- 273 °C |
КЭМ |
23П |
|
Температура плавления |
- 259 °C |
Класс опасности груза |
2.1 |
|
Критическая температура |
- 240 °C |
Знаки опасности |
|
|
Критическое давление |
1,29 МПа |
||
Упаковка
Стандартное наполнение – 40-литровый баллон (~5,7 м2). Возможно наполнение баллонов другого объема.
Транспортировка
В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 "О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением"
Рекомендуемый редуктор
Специальный редуктор для водорода
Гарантийный срок хранения
3 года.