Газовые смеси фосфина с аргоном

Объемная доля фосфина, %*

50±5

20±2

15±1

10±1

6±1

3±0,6

1,5±0,5

0,1-0,5

0,005-0,015

Примеси

Углеводороды в пересчете на метан, не более

5 ppm

2 ppm

1,5 ppm

1 ppm

1 ppm

1 ppm

1 ppm

1 ppm

1 ppm

Азот, не более

50 ppm

50 ppm

50 ppm

50 ppm

50 ppm

30 ppm

30 ppm

30 ppm

30 ppm

Диоксид углерода, не более

10 ppm

10 ppm

10 ppm

10 ppm

10 ppm

10 ppm

10 ppm

10 ppm

10 ppm

Кислород, не более

2 ppm

2 ppm

2 ppm

2 ppm

2 ppm

2 ppm

2 ppm

2 ppm

2 ppm

Водяные пары, не более

3 ppm

3 ppm

3 ppm

3 ppm

3 ppm

3 ppm

3 ppm

3 ppm

3 ppm

Содержание металлов, менее

1 ppm

1 ppm

1 ppm

1 ppm

1 ppm

1 ppm

1 ppm

1 ppm

1 ppm

Показатели качества компонентов стандартных смесей*

Фосфин

Аргон

Основное вещество

99,9998 %

99,998%

Аргон

< 0,5 ppm

Кислород

< 0,1 ppm

< 2 ppm

Азот

< 1 ppm

< 10 ppm

Вода

< 1 ppm

< 3 ppm

Метан

< 0,1 ppm

< 1 ppm

Этан

< 0,1 ppm

Пропан

< 0,1 ppm

Диоксид углерода

< 0,1 ppm

< 0,2 ppm

Оксид углерода

 < 0,1 ppm

Водород

< 2 ppm

Арсин

< 0,1 ppm

Аргон

Металлы

< 0,1 ppb

Общая характеристика

Газовые смеси фосфина представляют собой бесцветный, взрыво- и пожароопасный при концентрации фосфина выше 0,25%, токсичный.

фосфин

аргон

Молекулярная масса

34 г/моль

40 г/моль

№ ООН

1953

Температура кипения

- 87,4 °C

- 185,9 °C

КЭМ

15 ДЭ

Температура плавления

- 132,5 °C

- 189,6 °C

Класс опасности груза (по ДОПОГ 2015)

2.3 + 2.1

Критическая температура

51,3 °C

- 122,5 °C

Знаки опасности

Критическое давление

6,54 МПа

4,86 МПа