Трихлорсилан ОСЧ
Синонимы: Trichlorosilane, силикохлороформ
Применение
Трихлорсилан используется в производстве поликристаллического, полупроводникового кремния, эпитаксиальных кремниевых структур, а также кремнийорганических соединений.
Спецификация
Трихлорсилан |
> 99,995% |
Тетрахлорид кремния |
< 15 ppm |
Дихлорсилан |
< 15 ppm |
Углеводороды С1-С4 |
< 0,1 ppm |
Cu, Ni, Cr, Mn, Mg, Co, Al, Ca, Zn, Cd, Sn, Pb, Sb, Bi, Mo |
< 1 ppb (для каждого) |
Электрическое сопротивление эпитаксиальных пленок |
> 2000 Ом·см |
Характеристики
Общая характеристика |
Бесцветная прозрачная дымящая на воздухе, горючая, коррозионная, высокотоксичная жидкость с резким удушливым запахом. Бурно взаимодействует с водой с выделением водорода и хлористого водорода. |
||
Молекулярная масса |
135.45 г/моль |
CAS № |
10025-78-2 |
Давление паров при 20° C |
0,7 бар изб. |
№ ООН |
UN1295 |
Температура плавления |
- 126,6° C |
КЭМ |
|
Температура кипения |
31,8° C |
Класс опасности груза |
4.3 |
Критическая температура |
206° C |
Знаки опасности |
|
Критическое давление |
4,17 МПа |
Упаковка
Контейнеры из нержавеющей стали, оборудованные кранами для паровой и жидкой фазы.
Объем контейнера, дм3 |
Максимальная загрузка трихлорсилана, кг |
---|---|
22,4 |
27 |
240 |
289 |

Транспортировка
В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 "О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением"
Гарантийный срок хранения
8 месяцев