Трихлорсилан ОСЧ
Синонимы: Trichlorosilane, силикохлороформ
Применение
Трихлорсилан используется в производстве поликристаллического, полупроводникового кремния, эпитаксиальных кремниевых структур, а также кремнийорганических соединений.
Спецификация
|
Трихлорсилан |
> 99,995% |
|
Тетрахлорид кремния |
< 15 ppm |
|
Дихлорсилан |
< 15 ppm |
|
Углеводороды С1-С4 |
< 0,1 ppm |
|
Cu, Ni, Cr, Mn, Mg, Co, Al, Ca, Zn, Cd, Sn, Pb, Sb, Bi, Mo |
< 1 ppb (для каждого) |
| Электрическое сопротивление эпитаксиальных пленок |
> 2000 Ом·см |
Характеристики
|
Общая характеристика |
Бесцветная прозрачная дымящая на воздухе, горючая, коррозионная, высокотоксичная жидкость с резким удушливым запахом. Бурно взаимодействует с водой с выделением водорода и хлористого водорода. |
||
|
Молекулярная масса |
135.45 г/моль |
CAS № |
10025-78-2 |
|
Давление паров при 20° C |
0,7 бар изб. |
№ ООН |
UN1295 |
|
Температура плавления |
- 126,6° C |
КЭМ |
|
|
Температура кипения |
31,8° C |
Класс опасности груза |
4.3 |
|
Критическая температура |
206° C |
Знаки опасности |
|
|
Критическое давление |
4,17 МПа |
||
Упаковка
Контейнеры из нержавеющей стали, оборудованные кранами для паровой и жидкой фазы.
|
Объем контейнера, дм3 |
Максимальная загрузка трихлорсилана, кг |
|---|---|
|
22,4 |
27 |
|
240 |
289 |
Транспортировка
В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 "О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением"
Гарантийный срок хранения
8 месяцев