Газовая смесь диборана с водородом
Синонимы: Diborane hydrogen gas mixture, Boron hydride, Diboron hexahydride, Boroethane
Применение
Диборан используется как источник легирующего атома бора в технологии эпитаксиальных кремниевых пленок.
Спецификация
|
Марка |
2% |
|---|---|
|
Содержание диборана |
1,9 - 2,1% |
|
Содержание водорода |
баланс |
|
Примеси в диборане: |
|
|
O2 + Ar |
< 1 ppm |
|
N2 |
< 10 ppm |
|
CO2 |
< 5 ppm |
|
CH4 |
< 5 ppm |
|
BF3 |
< 50 ppm |
|
Высшие бораны |
< 350 ppm |
|
Примеси в водороде: |
|
|
O2 |
< 0,2 ppm |
|
N2 |
< 0,2 ppm |
|
CnHm |
< 0,02 ppm |
|
CO |
< 0,1 ppm |
|
CO2 |
< 0,02 ppm |
|
H2O |
< 1 ppm |
По запросу возможно изготовление смесей диборана с другой концетрацией и в другом балансе.
Характеристики
|
Общая характиристика |
|
||
|
Молекулярная масса |
27,66964 г/моль |
CAS № |
19287-45-7 |
|
|
|
№ ООН |
UN1911 (чистый диборан), UN1954 (газовая смесь) |
|
Температура кипения |
-92,5° C |
КЭМ |
|
|
Температура плавления |
|
Класс опасности груза |
2.1 |
|
Критическая температура |
16,65° C |
Знаки опасности |
|
|
Критическое давление |
4,053 МПа |
||
Упаковка
|
Объем, дм3 |
Размер ⌀D×H, см |
Вес баллона, кг |
Максимальное заполнение, куб. м |
|---|---|---|---|
|
10 |
⌀14×82 |
14 |
0,89 |
|
40 (импортный) |
⌀23×128 |
39 |
3,55 |
|
40 (РФ) |
⌀22×128 |
65 |
3,55 |
|
50 |
⌀23,5×147 |
57 |
4,44 |
Вентиль мембранный латунный, подсоединение DIN 6 (СП 21,8 лев. × 14 нит/дюйм), другие по запросу.
Транспортировка
В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 "О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением"
Рекомендуемый редуктор
Специальный редуктор для данного газа.
Гарантийный срок хранения
12 месяцев