Газовые смеси моносилана с аргоном, водородом

Синонимы: Silane gas mixture

Применение

Газовые смеси моносилана (SiH₄) применяют для получения эпитаксиальных, поликристаллических и диэлектрических слоев и пленок.

У нас можно купить смеси силана следующих марок
Марка	А	Б	В
Объемная доля моносилана	5±0,5%	10±0,5%	25±1%

Характеристики компонентов смесей
Показатели качества компонентов стандартных смесей	Моносилан		Водород		Аргон
Основное вещество	>99,99 %	>99,999 %	>99,9999 %	>99,99999 %	>99,998 %	>99,999 %
Кислород	O2+Ar < 1 ppm	O2+Ar < 0,1 ppm	O2+Ar 0,2 ppm	O2+Ar 20 ppb	2 ppm	2 ppm
Азот	< 5 ppm	< 2 ppm	0,5 ppm	50 ppb	10 ppm	3 ppm
Вода	-	< 0,1 ppm	2 ppm	0,2 ppm	3 ppm	3 ppm
Метан	< 1 ppm	< 0,1 ppm	0,3 ppm	30 ppb	1 ppm	0,5 ppm
Диоксид углерода	< 1 ppm	< 0,1 ppm	-	-	0,2 ppm	0,2 ppm
Водород	< 50 ppm	< 10 ppm	-	-	2 ppm	2 ppm
Оксид углерода	< 1 ppm	< 0,1 ppm	-	-	-	-
Хлорсиланы	< 10 ppm	< 1 ppm	-	-	-	-
Углеводороды C2-C4	< 1 ppm	< 1 ppm	-	-	-	-
Металлы	< 1 ppb	< 1 ppb	-	-	-	-

Возможно использование компонентов иной чистоты, а также других газов разбавителей по индивидуальному заказу.

Продукция соответствует ТУ 2114-001-16424433-99 с изм. 1, 2

Общая характеристика	Газовые смеси силана представляют собой бесцветный газ, токсичный, взрыво- и пожароопасный
	силан	аргон	водород
Молекулярная масса	32 г/моль	40 г/моль	2 г/моль	№ ООН	UN1954
Температура кипения	- 111,9 °C	- 185,9 °C	- 273 °C	КЭМ	234 К
Температура плавления	- 185 °C	- 189,6 °C	- 259 °C	Класс опасности груза (по ДОПОГ 2015)	2.1
Критическая температура	- 3 °C	-122,5 °C	- 240 °C	Знаки опасности

Стандартное наполнение – 40-литровый баллон (марка А 5,9±0,1м, марка Б 5,9±0,1м, марка В 4,9±01м). Возможно наполнение баллонов другого объема.

В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 "О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением"

12 месяцев.