Дихлорсилан
Синонимы: Dichlorosilane, DCS
Применение
Дихлорсилан используется в технологии получения эпитаксиальных структур, поликристаллического кремния, двуокиси кремния, нитрида кремния.
Спецификация
|
Марка |
120 |
|---|---|
|
Содержание основного вещества, не менее |
98,0 % |
|
Трихлорсилан и монохлорсилан, не более |
1,6 % |
|
Тетрахлорид кремния, не более |
0,4 % |
|
Металлы, менее |
0,01 ppm |
|
Удельное электрическое сопротивление |
> 120 Ом· см |
Продукция соответствует ТУ 2435-002-16422443-2000 с изм. 1-2
Характеристики
|
Общая характеристика |
Бесцветный, взрыво- и пожароопасный, высокотоксичный газ с резким специфическим запахом. |
||
|
Молекулярная масса |
101,01 г/моль |
CAS № |
4109-96-0 |
|
Давление пара при 20° C |
№ ООН |
UN2189 |
|
|
Температура кипения |
8,3° C |
КЭМ |
15К |
|
Температура плавления |
- 122° C |
Класс опасности груза |
2.3 + 2.1 + 8 |
|
Критическая температура |
176° C |
Знаки опасности |
|
|
Критическое давление |
0,46 МПа |
||
Упаковка
Стандартное наполнение – 40-литровый баллон (~30 кг). Возможно наполнение баллонов другого объема.
Транспортировка
В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 "О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением"
Рекомендуемый редуктор
Не требуется.
Гарантийный срок хранения
12 месяцев.