Шестифтористая сера (элегаз)
Синонимы: Sulfur hexafluoride, гексафторид серы
Применение
Элегаз применяется в электротехнической промышленности в качестве диэлектрика В микроэлектронике гексафторид серы используется как источник фтора для травления в плазме высокой плотности без образования углеродсодержащих продуктов. SF6 используют для травления силицидов металлов (например, вольфрама), нитридов и оксидов на металлических подложках.
Спецификация
|
Марка |
3.0 |
5.0 |
|---|---|---|
|
Содержание основного вещества, не менее |
99,9 % |
99,999% |
|
Примеси: |
||
|
Кислород, азот, воздух (суммарно) |
< 0,05 % |
- |
|
Тетрафторметан |
< 0,05 % |
- |
|
Вода, %, не более |
< 0,0015 % |
- |
|
Кислотность в пересчете на фтористый водород |
< 0,00003 % |
- |
|
Гидролизуемые фториды |
< 0,0001 % |
- |
|
O2 + Ar |
- |
< 2 ppm |
|
N2 |
- |
< 3 ppm |
|
CO |
- |
< 0,5 ppm |
|
CO2 |
- |
< 0,5 ppm |
|
CF4 |
- |
< 0,5 ppm |
|
H2O |
- |
< 2 ppm |
|
HF |
- |
< 0,1 ppm |
|
Общие углеводороды по метану |
- |
< 0,1 ppm |
|
Стандарт / ТУ |
ТУ 6-02-1249-83 |
|
Характеристики
|
Общая характеристика |
Тяжелый, нетоксичный, негорючий инертный газ без цвета и запаха. |
||
|
Молекулярная масса |
146,06 г/моль |
CAS № |
2551-62-4 |
|
Давление паров при 20° С |
20,5 бар |
№ ООН |
UN1080 |
|
Температура кипения |
- 63,8° С |
КЭМ |
23 |
|
Температура плавления |
- 50,8° С |
Класс опасности груза |
2.2 |
|
Критическая температура |
45,6° C |
Знаки опасности |
|
|
Критическое давление |
3,76 МПа |
||
Упаковка
Стандартное наполнение – 40-литровый баллон (~56 кг). Возможно наполнение баллонов другого объема.
Транспортировка
В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 "О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением".
Рекомендуемый редуктор
Стандартный редуктор для чистых газов.
Гарантийный срок хранения
5 лет.