Хлористый водород
Хлористый водород применяется в процессах термической обработки и осаждения слоев поликристаллического кремния на поверхности полупроводниковых пластин в микроэлектронном производстве.
|
МАРКА |
5.0 |
|
|
Содержание основного вещества, не менее |
99,999 % |
|
|
Примеси: |
||
|
Объемная доля азота, не более |
2 ppm |
|
|
Объемная доля кислорода, не более |
1 ppm |
|
|
Объемная доля оксида углерода, не более |
1 ppm |
|
|
Объемная доля диоксида углерода, не более |
5 ppm |
|
|
Объемная доля углеводородов, не более |
1 ppm |
|
|
Объемная доля воды, не более |
2 ppm |
|
|
Объемная доля железа, не более |
1 ppm |
|
бесцветный, негорючий, гигроскопичный, коррозийный, ядовитый газ с резким характерным запахом
|
Молекулярная масса |
36,46 г/моль |
CAS № |
7647-01-0 |
|
Давление пара при 20 °С |
41,2 бар |
№ ООН |
1050 |
|
Температура кипения |
- 85 °С |
КЭМ |
5КЭ |
|
Температура плавления |
- 114,2 °С |
Класс опасности груза |
2.3 |
|
Критическая температура |
51,4 °С |
Знаки опасности |
|
|
Критическое давление |
8,26 МПа |
стандартное наполнение – 47-литровый баллон (~34,5 кг) и 50-литровый баллон (~37 кг).
Возможно наполнение баллонов другого объема.
в соответствии с Правилами перевозки опасных грузов, а также с правилами устройства и безопасной эксплуатации сосудов, работающих под давлением
импортный
1 год