Хладон 14 (Тетрафторметан)
Синонимы: R14, Tetrafluorocarbon, тетрафторметан, хладон 14
Применение
Хладон-14 в смеси с кислородом применяется для травления поликремния, диоксида и нитрида кремния, а также некоторых металлов и силицидов металлов.
Спецификация
|
Марка |
2.2* |
5.0 |
|---|---|---|
|
Содержание основного вещества, % не менее |
99,2 |
99,999 |
|
Примеси: |
|
|
|
Кислород |
Суммарно |
< 2 ppm |
|
Азот |
< 5 ppm |
|
|
Оксид углерода |
< 1 ppm |
|
|
Диоксид углерода |
- |
< 1 ppm |
|
Суммарная объемная доля высококипящих примесей |
< 0,1% |
- |
|
Вода |
0,001 % |
< 1 ppm |
|
Стандарт / ТУ |
ТУ 301-14-78-92, изм. 1, 2, 3, 4, 5 4 |
|
Характеристики
|
Общая характеристика |
Бесцветный, негорючий, взрывобезопасный и малотоксичный газ со слабым запахом тетрахлорметана |
|||
|
Молекулярная масса |
88,01 г/моль |
CAS № |
75-73-0 |
|
|
|
|
№ ООН |
UN1982 |
|
|
Температура кипения |
- 128,0° C |
КЭМ |
23 |
|
|
Температура плавления |
- 183,6° C |
Класс опасности груза |
2.2 |
|
|
Критическая температура |
- 45,65° C |
Знаки опасности |
|
|
|
Критическое давление |
3,745 МПа |
|||
Упаковка
Стандартное наполнение – 40-литровый баллон (~29 кг). Возможно наполнение баллонов другого объема.
Транспортировка
В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 "О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением"
Рекомендуемый редуктор
Стандартный редуктор для чистых газов.
Гарантийный срок хранения
5 лет.