Силан (моносилан)
Синонимы: Silane, Monosilane, силан, тетрагидрид кремния
Применение
Моносилан используется в технологии получения диоксида кремния, нитрида кремния, поликремния, аморфного кремния, а также структур (в том числе и кремний-германиевых) и пленок на их основе.
Спецификация
|
Марка* |
4.4 |
5.0 |
5.5 |
|---|---|---|---|
|
Содержание основного вещества, не менее |
99,994 % |
99,999 % |
99,9995% |
|
Водород |
< 50 ppm |
< 10 ppm |
< 1 ppm |
|
Кислород + Аргон |
< 2 ppm |
< 1 ppm |
< 1 ppm |
|
Азот |
< 5 ppm |
< 5 ppm |
< 1 ppm |
|
Диоксид углерода |
< 1 ppm |
< 0,1 ppm |
< 0,1 ppm |
|
Оксид углерода |
< 1 ppm |
< 0,1 ppm |
< 0,1 ppm |
|
Метан |
< 1 ppm |
< 1 ppm |
< 0,1 ppm |
|
Углеводороды C2-C4 |
< 1 ppm |
< 1 ppm |
< 1 ppm |
|
Вода |
- |
< 0,1 ppm |
< 0,1 ppm |
|
Хлорсиланы |
< 10 ppm |
< 1 ppm |
< 1 ppm |
|
Металлы |
< 1 ppb |
< 1 ppb |
< 1 ppb |
|
Удельное электрическое сопротивление |
> 1000 Ом·см |
> 1000 Ом·см |
> 1000 Ом·см |
* Возможно производство другой марки
Продукция соответствует ТУ 24-37-003-16422443-2000 с изм. 1, 2
Характеристики
|
Общая характеристика |
Бесцветный, взрыво- и пожароопасный (самовоспламеняется на воздухе), токсичный, газ с резким специфическим запахом. |
||
|
Молекулярная масса |
32,12 г/моль |
CAS № |
7803-62-5 |
|
|
№ ООН |
UN2203 |
|
|
Температура кипения |
- 111,9 °C |
КЭМ |
234 |
|
Температура плавления |
- 185 °C |
Класс опасности груза |
2.1 |
|
Критическая температура |
- 3 °C |
Знаки опасности |
|
|
Критическое давление |
4,28 МПа |
||
Упаковка
Стандартное наполнение – 40-литровый баллон (~5,5 кг). Возможно наполнение в баллоны другого объема.
Транспортировка
В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 "О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением"
Рекомендуемый редуктор
Высокочистый для силана
Гарантийный срок хранения
12 месяцев