Газовые смеси фосфина с силаном, гелием
Газовые смеси фосфина (PH3) с силаном (SiH4), а также газовые смеси фосфина (PH3) с гелиемприменяют в производстве полупроводниковых материалов
МАРКА |
Фосфин с силаном (ТУ 95120-93) |
Фосфин с гелием |
|||
2 |
3 |
||||
Объемная доля фосфина, %* |
50±5 |
20±2 |
50±3 |
||
Показатели качествакомпонентов стандартных смесей* |
Фосфин |
Силан |
Гелий |
||
Основное вещество |
99,9998 % |
99,999 % |
99,995% |
||
Аргон |
< 0,5 ppm |
|
|
||
Кислород |
< 0,1 ppm |
Ar+O2 < 0,1 ppm |
Ar+O2 < 1 ppm |
||
Азот |
< 1 ppm |
< 2 ppm |
< 5 ppm |
||
Вода |
< 1 ppm |
< 0,1 ppm |
< 5 ppm |
||
Метан |
< 0,1 ppm |
< 1 ppm |
< 1 ppm |
||
Этан |
< 0,1 ppm |
|
|
||
Пропан |
< 0,1 ppm |
|
|
||
Углеводороды |
|
C2-C4 < 1 ppm |
< 1 ppm |
||
Диоксид углерода |
< 0,1 ppm |
< 0,1 ppm |
CO+CO2 < 2 ppm |
||
Оксид углерода |
< 0,1 ppm |
< 0,1 ppm |
|
||
Водород |
|
< 10 ppm |
< 1 ppm |
||
Хлорсиланы |
|
< 1 ppm |
|
||
Арсин |
< 0,1 ppm |
|
Аргон |
||
Металлы |
< 0,1 ppb |
< 1 ppb |
|
* Возможно использование компонентов иной чистоты, а также иная объемная доля фосфина по индивидуальному заказу
Общая характеристика |
Газовые смеси фосфина представляют собой бесцветный газ, токсичный, взрыво- и пожароопасный |
||||
|
фосфин |
силан |
гелий |
|
|
Молекулярная масса |
34 г/моль |
32 г/моль |
4 г/моль |
№ ООН |
1953/2199 |
Температура кипения |
- 87,4 °C |
- 111,9 °C |
- 269 °C |
КЭМ |
15 ДЭ |
Температура плавления |
- 132,5 °C |
- 185 °C |
|
Класс опасности груза (по ГОСТу 19433-88) |
2.4 |
Критическая температура |
51,3 °C |
- 3 °C |
-267,95 °C |
Знаки опасности |
|
Критическое давление |
6,54 МПа |
4,28 МПа |
0,23 МПа |
Стандартное наполнение – 40-литровый баллон
(2м - смеси с гелием, 2,2 кг – смесь 50% с силаном)
Возможно наполнение баллонов другого объема.
В соответствии с ДОПОГ, а также с ФНП "Правила промышленной безопасности при использовании оборудования, работающего под избыточным давлением"
импортный
1 год