Кремния тетрафторид
Синонимы: Silicon tetrafluoride, тетрафторсилан
Применение
Тетрафторид кремния используется в микроэлектронике для ионной имплантации и совместно с силаном для плазменного осаждения фторированного кремния.
Спецификация
|
Марка |
5.0 |
|---|---|
|
Содержание основного вещества, не менее |
99,999% |
|
Примеси: |
|
|
O2 + Ar |
< 1 ppm |
|
N2 |
< 3 ppm |
|
CO |
< 0,5 ppm |
|
CO2 |
< 1 ppm |
|
CH4 |
< 10 ppm |
|
As |
< 0,5 ppm |
|
B |
< 0,5 ppm |
|
P |
< 0,5 ppm |
Характеристики
|
Общая характиристика |
|
||
|
Молекулярная масса |
104,07911 г/моль |
CAS № |
7783-61-1 |
|
|
|
№ ООН |
UN1859 |
|
Температура кипения |
-95,2° C |
КЭМ |
|
|
Температура плавления |
-86,8° C при 2,24 бар |
Класс опасности груза |
2.3 + 8 |
|
Критическая температура |
-14,2° C |
Знаки опасности |
|
|
Критическое давление |
3,715 МПа |
||
Упаковка
|
Объем, дм3 |
Размер ⌀D×H, см |
Вес баллона, кг |
Максимальное заполнение, кг |
|---|---|---|---|
|
10 |
⌀14×82 |
14 |
4-8 |
|
40 (импортный) |
⌀23×128 |
39 |
16-32 |
|
40 (РФ) |
⌀22×128 |
65 |
16-32 |
|
50 |
⌀23,5×147 |
57 |
20-40 |
Вентиль мембранный из нержавеющей стали, подсоединение DIN 8 (G3/4) или DIN 6 (СП 21,8 × 14 нит/дюйм), другие по запросу.
Транспортировка
В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 "О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением".
Рекомендуемый редуктор
Специальный коррозионностойкий редуктор для данного газа.
Гарантийный срок хранения
12 месяцев.