Хладон 116 (гексафторэтан)
Синонимы: Hexafluoroethane, R116, гексафторэтан
Применение
Наиболее универсальный травящий агент. Может использоваться для селективного травления силицидов металлов и оксидных пленок на металлических подложках. В смеси с кислородом стравливает фоторезист.
Спецификация
|
Марка |
5.0 |
|---|---|
|
Содержание основного вещества, не менее |
99,999% |
|
Примеси: |
|
|
N2 |
< 4 ppm |
|
O2 |
< 1 ppm |
|
Общие углеводороды |
< 1 ppm |
|
CO2 |
< 2 ppm |
|
CO |
< 1 ppm |
|
H2O |
< 1 ppm |
|
Кислотность по HF |
< 0,1 ppm |
Характеристики
|
Общая характиристика |
Газ без цвета и запаха. |
||
|
Молекулярная масса |
138,01182 г/моль |
CAS № |
76-16-4 |
|
Давление паров при 19,7° С |
29,8 бар |
№ ООН |
UN2193 |
|
Температура кипения |
-78,2° C |
КЭМ |
|
|
Температура плавления |
-100,6° C |
Класс опасности груза |
2.2 |
|
Критическая температура |
19,7° C |
Знаки опасности |
|
|
Критическое давление |
2,98 МПа |
||
Упаковка
Заполняется в баллоны от 10 до 40 л. Вентиль мембранный латунный, подсоединение DIN 9 (G3/4) или DIN 6 (СП 21,8 × 14 нит/дюйм), другие по запросу.
Транспортировка
В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 "О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением".
Рекомендуемый редуктор
Стандартный редуктор для чистых газов.
Гарантийный срок хранения
12 месяцев.