Газовые смеси для эксимерных лазеров
Синонимы: Premix, Buffer
Применение
Премиксы и буферы – это газовые смеси, являющиеся рабочим телом эксимерного лазера. Ими заправляют лазеры, используемые в офтальмологии, косметической медицине, для обработки материалов, литографии и научных исследований. В состав премикса могут входить гелий, неон, аргон, криптон, ксенон, фтор в различных сочетаниях, а также хлороводород и водород. В состав буфера входят только инертные газы. Для каждой модели лазера обычно используются смеси уникального процентного состава.
Спецификация
|
Лазер |
Тип |
Длина волны |
Состав смеси |
|---|---|---|---|
|
COMPexPro 102, COMPexPro110 |
XeCl |
308 нм |
HCl + H2 + He + Xe + Ne |
|
COMPexPro 201, COMPexPro 205 |
HCl + H2 + He + Xe + Ne |
||
|
COMPexPro 102, COMPexPro110 |
KrF |
248 нм |
F2 + He + Kr + Ne |
|
COMPexPro 201, COMPexPro 205 |
F2 + He + Kr + Ne |
||
|
BraggStar M |
F2 + He + Kr + Ne |
||
|
COMPexPro 102, COMPexPro 110 |
ArF |
193 нм |
F2 + Ar + Ne + He |
|
COMPexPro 201, COMPexPro 205 |
F2 + He + Ar + Ne |
||
|
COMPexPro F2 |
F2 |
157 нм |
F2 + He |
|
COMPexPro 102, COMPexPro110 |
XeF |
351 нм |
F2 + He + Xe + Ne |
|
COMPexPro 201, COMPexPro 205 |
F2 + Xe + Ne + He |
||
|
NIDEK |
ArF |
193 нм |
Ar + Ne + He (NIDEK BUFER) F2 + He (NIDEK FLOURINE) F2 + Ar + He + Ne (NIDEK PREMIX) |
|
SCHWIND AMARIS |
ArF |
193 нм |
F2 + He + Ar + Ne (SCHWIND) |
|
STAR S4 IR® |
ArF |
193 нм |
F2 + He + Ar + Ne (VISX PREMIX) He (VISX HELIUM) |
|
WaveLight Allegretto Wave Eye-Q |
ArF |
193 нм |
F2 + He + Ar + Ne |
|
МикроСкан, МикроСкан - ЦФП (OOO "Оптосистемы")
|
ArF |
193 нм |
F2 + Ar + Ne |
|
CL 5100, 5200, 5300 (OOO "Оптосистемы") |
KrF |
248 нм |
F2 + He + Kr + Ne |
|
МЛ-308 |
XeCl |
308 нм |
HCl + Xe + Ne |
|
Лазеры, используемые в литографии, отжиге и других технологиях |
ArF |
193 нм |
1% F2 + 3,5% Ar + Ne |
|
XeCl |
308 нм |
10 ppm Xe + 3,5% Ar + Ne HCl + H2 + Ne |
|
|
KrF |
248 нм |
1% F2 + 1,25% Kr + Ne 1,25% Kr + Ne |
|
| CL7100 (OOO "Оптосистемы") | KrF | 248 нм | F2 + He + Kr + Ne |
| Technolas (Bausch & Lomb) | ArF | 193 нм | F2 + He + Ar + Ne |
| CL7000 (OOO "Оптосистемы") | ArF | 193 нм | F2 + He + Ne + Ar + Xe (CL7000 PREMIX) |
| Cymer | KrF | 248нм | F2 + Ne + Kr (Cymer PREMIX) |
| Лазеры для фотолитографии | ArF | 193 нм | F2 +Ne + Ar + Xe (ARF1, ARF2) |
| EX5 eximer laser (GAM LASER Inc.) | ArF | 193 нм | F2 + Ne + Ar + O2 |
| MEL 80 Excimer Laser (Carl Zeiss) | ArF | 193 нм | F2 + Ne + Ar (Carl Zeiss MEDITEC ARF PREMIX C) |
| Другие смеси по запросу | |||
|
Газ |
Чистота |
|---|---|
|
He |
99,9999% |
|
Ne |
99,9995% |
|
Ar |
99,9999% |
|
Kr |
99,9999% |
|
Xe |
99,99995% |
При заказе эксимерных смесей рекомендуется дать полную информацию: модель и тип лазера, состав смеси, объем баллона, желаемое давление или количество смеси в баллоне.
Характеристики
|
Общая характеристика премиксов |
Бесцветный газ с запахом похожим на йод, озон (для смесей фтора) или хлористого водорода. Содержащийся в премиксе галоген является окислителем, при растворении в воде образуется кислый раствор. |
||
|
Общая характеристика буферов |
Бесцветный газ без запаха, не реагирует с водой. Смеси содержащие большие концетрации ксенона и криптона могут оказать воздействие на центральную нервную систему. |
||
|
Молекулярная масса |
не применимо |
CAS № |
|
|
|
|
№ ООН |
1956 |
|
Температура плавления |
не применимо |
КЭМ |
|
|
Температура кипения |
не применимо |
Класс опасности груза (ДОПОГ 2015) |
2.2 |
|
Критическая температура |
не применимо |
Знаки опасности |
|
|
Критическое давление |
не применимо |
||
Упаковка
Баллоны из нормализованной стали (NS), стали, прошедшей закалку и отпуск (QTS), или нержавеющей стали (SS).
|
Объем, дм3 |
Размер ⌀D×H, см |
Вес, кг |
|---|---|---|
|
10 |
⌀14×82 |
14 |
|
16 |
⌀18×78 |
20 |
|
20 |
⌀20,5×81 |
25 |
|
40 |
⌀22×128 |
39 |
|
50 |
⌀23,5×147 |
57 |
|
Давление газа в баллоне 100 – 150 бар. |
||
|
Перед заправкой смеси производится пассивация поверхности. |
||
Вентиль из нержавеющей стали или бронзы, устойчивой к фтору. Выходной штуцер DIN 14, DIN 8. Другие по запросу.
Транспортировка
В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 "О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением"
Гарантийный срок хранения
24 месяца