Трифторид азота
Синонимы: Nitrogen trifluoride
Применение
Трифторид азота используется в процессах травления металлов в микроэлектронике, в качестве фторирующего агента в органических синтезах.
Спецификация
|
Марка |
4.0 |
|---|---|
|
Содержание основного вещества, не менее |
99,99 % |
|
Примеси: |
|
|
CF4 |
< 50 ppm |
|
CO |
< 0,5 ppm |
|
CO2 |
< 5 ppm |
|
H2O |
< 1 ppm |
|
N2 |
< 7 ppm |
|
N2O |
< 5 ppm |
|
O2 + Ar |
< 15 ppm |
|
SF6 |
< 10 ppm |
|
HF |
< 1 ppm |
|
C2F6 |
< 1 ppm |
Характеристики
|
Общая характеристика |
Бесцветный, негорючий газ без запаха, окислитель. |
||
|
Молекулярная масса |
71 г/моль |
CAS № |
7783-54-2 |
|
|
|
№ ООН |
UN2451 |
|
Температура кипения |
- 129 °C |
КЭМ |
3Д |
|
Температура плавления |
- 207 °C |
Класс опасности груза |
2.2 + 5.1 |
|
Критическая температура |
-39,25 °C |
Знаки опасности |
|
|
Критическое давление |
4,531 МПа |
||
Упаковка
Стандартное наполнение – 40-литровый баллон (~18 кг). Возможно наполнение баллонов другого объема.
Транспортировка
В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 "О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением"
Рекомендуемый редуктор
Специальный редуктор для трифторида азота.
Гарантийный срок хранения
3 года.