Аргон
Синонимы: Argon
Применение
Аргон в основном используется для продувки, отжига, распыления и ионного травления, а также как инертный газ для вытяжки кристаллов кремния.
Спецификация
|
Марка |
4.3 |
4.8 |
5.0 |
|---|---|---|---|
|
Содержание основного вещества, не менее |
99,993 % |
99,998 % |
99,999% |
|
Примеси: |
|||
|
Кислород, не более |
7 ppm |
2 ppm |
2 ppm |
|
Азот, не более |
50 ppm |
10 ppm |
3 ppm |
|
Водород, не более |
не опред. |
2 ppm |
2 ppm |
|
Метан, не более |
не опред. |
1 ppm |
0,5 ppm |
|
Диоксид углерода, не более |
5 ppm |
0,2 ppm |
0,2 ppm |
|
Вода, не более |
9 ppm |
3 ppm |
3 ppm |
|
Стандарт / ТУ |
ГОСТ 10157-79 с изм. 1, 2, 3 |
ТУ 6-21-12-94 с изм. 1, 2 |
|
Характеристики
|
Общая характеристика |
Бесцветный, нетоксичный, невзрывоопасный газ |
||
|
Молекулярная масса |
39,95 г/моль |
CAS № |
7440-37-1 |
|
|
|
№ ООН |
1006 |
|
Температура кипения |
- 185,9 °C |
КЭМ |
23 |
|
Температура плавления |
- 189,6 °C |
Класс опасности груза |
2.2 |
|
Критическая температура |
-122,5 °C |
Знаки опасности |
|
|
Критическое давление |
4,86 МПа |
||
Упаковка
Стандартное наполнение – 40-литровый баллон (~6,5 м2) . Возможно наполнение баллонов другого объема.
Транспортировка
В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 "О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением"
Рекомендуемый редуктор
Специальный редуктор для аргона.
Гарантийный срок хранения
18 месяцев.